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當(dāng)前位置：無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司>>元器件高低溫測試機(jī)>>蝕刻機(jī)用冷水機(jī)>> AES-4535光刻機(jī)用冷水機(jī)組的安裝要求有哪些
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號AES-4535
品 牌LNEYA/無錫冠亞
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地無錫市
更新時間：2025-01-13 08:58:46瀏覽次數(shù)：2545次
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光刻機(jī)冷卻機(jī)組保養(yǎng)維護(hù)須知
半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)
蝕刻機(jī)水冷機(jī)需要注意的選購細(xì)節(jié)有哪些
光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
|---|---|---|---|
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車 |
| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機(jī) | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機(jī)用冷水機(jī)組的安裝要求有哪些
光刻機(jī)用冷水機(jī)組的安裝要求有哪些
為確保光刻機(jī)用冷水機(jī)組的靠譜及正常運(yùn)行，防止不適當(dāng)?shù)乃涔苈肥┕ぴ斐傻睦渌畽C(jī)故障，安裝本機(jī)組時應(yīng)注意下列事項(xiàng)：
光刻機(jī)用冷水機(jī)組的電源注意事項(xiàng)
1、光刻機(jī)用冷水機(jī)組電源采用三相四線、電源線接電源火線，接零線，（G）接地線。
2、光刻機(jī)用冷水機(jī)組用主電源線線電控箱上的穿孔連接在箱內(nèi)接柱上，保證連接緊固。
3、機(jī)組配電要求：主電源電壓：額定電壓范圍以內(nèi)。
4、主電源電壓波動超過規(guī)定范圍時，不準(zhǔn)起動冷水機(jī)、否則視作操作不當(dāng)，由此引起的損壞不在本公司保養(yǎng)范圍之內(nèi)。
5、水系統(tǒng)之水流開關(guān)、水泵、冷卻水塔電機(jī)等聯(lián)鎖電路必要時可正確連接在機(jī)組控制電路中。
6、光刻機(jī)用冷水機(jī)組設(shè)有電流過載保護(hù)、壓縮機(jī)排氣端之高低壓保護(hù)，馬達(dá)線圈過熱保護(hù)、防冰保護(hù)，冷卻水之水流連鎖保護(hù)等多種措施，切勿擅自改動、如需改動請與廠家聯(lián)絡(luò)。
光刻機(jī)用冷水機(jī)組的安裝注意事項(xiàng)
1、吊運(yùn)安裝光刻機(jī)用冷水機(jī)組時注意不要損壞機(jī)組，合理布局光刻機(jī)用冷水機(jī)組周圍空間，以方便維修保養(yǎng)光刻機(jī)用冷水機(jī)組。
2、按照對配管系統(tǒng)設(shè)計及施工安裝的要求，合理設(shè)計和安裝凍水及冷卻水系統(tǒng)，以充分發(fā)揮光刻機(jī)用冷水機(jī)組性能。
3、機(jī)組應(yīng)水平放置，及安裝在通風(fēng)位置。
4、根據(jù)機(jī)組制冷能力選用匹配的冷卻塔。
5、機(jī)組配管請參照本公司建議之配管方法安裝施工。
6、水源及散熱水塔周圍環(huán)境惡劣時，冷凍水和冷卻水回路須安裝Y型過濾器及定時清理，封閉冷凍水系統(tǒng)較高處須安裝自動排氣閥、系統(tǒng)較低處安裝排水接頭，以系統(tǒng)排水用。
7、冷凍水管路系統(tǒng)通過試漏后，包保溫層，避免冷量散失及管路滴水。
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