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當(dāng)前位置:無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司>>元器件高低溫測試機(jī)>>蝕刻機(jī)用冷水機(jī)>> AES-4535光刻機(jī)水冷機(jī)組定時(shí)保養(yǎng)知識(shí)須知
參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)AES-4535
品 牌LNEYA/無錫冠亞
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地無錫市
更新時(shí)間:2024-01-07 19:39:13瀏覽次數(shù):1412次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 化工儀器網(wǎng)光刻機(jī)冷卻機(jī)組保養(yǎng)維護(hù)須知
半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)
蝕刻機(jī)水冷機(jī)需要注意的選購細(xì)節(jié)有哪些
光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
---|---|---|---|
冷卻方式 | 風(fēng)冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車 |
型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
溫度范圍 | -45℃~225℃ | -60℃~225℃ | -80℃~225℃ | -100℃~225℃ | -120℃~225℃ | |
制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
-60℃ | 2kW | |||||
-80℃ | 1.5kW | |||||
-100℃ | 1.2kW | |||||
-120℃ | 1.2kW | |||||
溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度:5℃~32℃ 0~50%RH | |||||
空氣處理能力 | 7m³/h ~ 25m³/h 壓力5bar~7.6bar | |||||
系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)(高壓、低壓) 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
控制器 | 西門子PLC,模糊PID控制算法 | |||||
溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
可編程 | 可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟 | |||||
通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設(shè)備有) | |||||
溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
壓縮機(jī) | 法國泰康/艾默生 | |||||
蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥) | |||||
操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
安全防護(hù) | 具有自我診斷功能;相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù);高壓壓力開關(guān),過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
外型尺寸(風(fēng))cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
外型尺寸(水)cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風(fēng)機(jī)采用德國EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
水冷冷凝器 | 板式換熱器(務(wù)必確保冷卻水清潔) | |||||
冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 (標(biāo)準(zhǔn)顏色7035) | |||||
溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ |
光刻機(jī)水冷機(jī)組定時(shí)保養(yǎng)知識(shí)須知
光刻機(jī)水冷機(jī)組定時(shí)保養(yǎng)知識(shí)須知
掌握調(diào)整蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置運(yùn)行功率的方法,企業(yè)運(yùn)行滿足需求的前提下,控制蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置的運(yùn)行功率??刂莆g刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置處于低效率運(yùn)行狀態(tài),能夠減少設(shè)備消耗的數(shù)量。
一、用電環(huán)境要好
想要降低蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置電量,需要為蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置提供優(yōu)良的用電環(huán)境。例如用電環(huán)境的電壓比較低,蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置設(shè)備為保持穩(wěn)定的運(yùn)行效率,必然加大電能的消耗。
二、設(shè)備的運(yùn)作要提前計(jì)劃好
加入要維護(hù)蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置的和系統(tǒng)的穩(wěn)定,那么要以前做好設(shè)備的運(yùn)作計(jì)劃,不論什么設(shè)備都要有提前的計(jì)劃,如果沒有會(huì)使機(jī)器滿負(fù)荷運(yùn)載,這就會(huì)影響到蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置運(yùn)行的。
三、要定期的保養(yǎng)
對(duì)蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置進(jìn)行定期的維護(hù)可以保證蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置的壽命的煙瘴,不論是什么設(shè)備只要維護(hù)好了,那么設(shè)備的效能也會(huì)相應(yīng)的會(huì)減少的慢。
四、四周環(huán)境的影響
現(xiàn)在的環(huán)境對(duì)機(jī)器的影響還是比較大的,好的環(huán)境會(huì)提供機(jī)器的效能,相反則會(huì)降低機(jī)器的效能,所以好的環(huán)境對(duì)機(jī)器是有一定的影響的。
五、冷凝器的溫度
冷凝溫度的降低會(huì)是冷卻效果更好,因?yàn)樵陂_始使用的時(shí)候,冷卻塔時(shí)會(huì)有一定的裕量,所以需要加大原有的冷卻塔水,讓冷卻水的效能更好。
六、配置可調(diào)節(jié)線圈
蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置在運(yùn)行的時(shí)候,如果運(yùn)行時(shí)間較長,能源消耗非常多??梢詾槲g刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置安裝調(diào)節(jié)線圈,根據(jù)環(huán)境溫度調(diào)整適合的運(yùn)行功率。
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