無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司的半導(dǎo)體控溫解決方案

主要產(chǎn)品包括半導(dǎo)體專?溫控設(shè)備、射流式?低溫沖擊測試機和半導(dǎo)體??藝廢?處理裝置等?設(shè)備，

?泛應(yīng)?于半導(dǎo)體、LED、LCD、太陽能光伏等領(lǐng)域。

【冠亞制冷】半導(dǎo)體行業(yè)主營控溫產(chǎn)品：

半導(dǎo)體專溫控設(shè)備

射流式?低溫沖擊測試機

半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備chiller

Chiller氣體降溫控溫系統(tǒng)

Chiller直冷型

循環(huán)風(fēng)控溫裝置

半導(dǎo)體?低溫測試設(shè)備

電?設(shè)備?溫低溫恒溫測試?yán)錈嵩?/span>

射流式高低溫沖擊測試機

快速溫變控溫卡盤

數(shù)據(jù)中心液冷解決方案

液冷790_01.jpg

Chillers半導(dǎo)體控溫裝置模塊循環(huán)制冷機

　　集成電路晶圓制造Chiller在半導(dǎo)體制造工藝中作為一種制冷加熱動態(tài)控溫設(shè)備，可以用在不同的工藝中，以下是在半導(dǎo)體制造工藝中的應(yīng)用：

　　1、氧化工藝：在氧化工藝中，需要將硅片放入氧化爐中，并在高溫下進(jìn)行氧化反應(yīng)。集成電路晶圓制造Chiller可以控制氧化爐的溫度和氣氛，以確保氧化反應(yīng)的穩(wěn)定性和均勻性。

　　2、退火工藝：在退火工藝中，需要將硅片加熱到一定溫度，并保持一段時間，以消除晶格中的應(yīng)力并改善材料的性能。集成電路晶圓制造Chiller可以控制退火爐的溫度和時間，以確保退火過程的穩(wěn)定性和可靠性。

　　3、刻蝕工藝：在刻蝕工藝中，需要將硅片暴露在化學(xué)試劑中，以去除不需要的材料。集成電路晶圓制造Chiller可以控制化學(xué)試劑的溫度和流量，以確?？涛g過程的穩(wěn)定性和精度。

　　4、薄膜沉積工藝：在薄膜沉積工藝中，需要將材料沉積在硅片上，以形成所需的薄膜結(jié)構(gòu)。集成電路晶圓制造Chiller可以控制沉積設(shè)備的溫度和氣氛，以確保薄膜沉積的穩(wěn)定性和質(zhì)量。

　　5、離子注入工藝：在離子注入工藝中，需要將離子注入到硅片中，以改變材料的性質(zhì)和結(jié)構(gòu)。集成電路晶圓制造Chiller可以控制離子注入設(shè)備的溫度和電流，以確保離子注入的穩(wěn)定性和精度。