Park XE 15通用型原子力顯微鏡通過多重采樣™ 掃描進行便捷樣品測量

無軸間耦合提高掃描精度

N o n - C o n t a c t ™ （真正非接觸™ ）模式延長

針尖使用壽命、改善樣品保存及精度

提供最佳用戶體驗

選項/ 模式多樣化
 

Park XE 15通用型原子力顯微鏡有適合大眾化的各種掃描模 式 ，能 滿足您的 所 有 研 究 需求：

1. 表 面 粗 糙 度 測 量

2. 電 性 能

3. 機 械 性 能

4. 熱 性 能

5. 磁 性 能

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展如火如荼的今天，上海磊微伴隨著行業(yè)不斷學(xué)習(xí)、積極提升自身水平， 為越來越多的客戶提供了專業(yè)的產(chǎn)品和服務(wù)。今后，磊微將以不斷培育的市場為依托，以良好優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品為核心，以高效運作的團隊為基礎(chǔ)，迎來更快更好的發(fā)展。我們一直秉承團結(jié)創(chuàng)新、嚴謹奮進的企業(yè)精神，秉承誠信務(wù)實、互利多贏的經(jīng)營理念，努力為客戶、為社會提供高品質(zhì)產(chǎn)品和服務(wù)。

　　一、概述

　　通用型原子力顯微鏡（AFM）是掃描探針顯微技術(shù)的一種，它是通過探針和樣品表面之間的相互作用來測量表面形貌和性質(zhì)的。其將圖像轉(zhuǎn)化為高度圖，能夠?qū)Ω鞣N樣品的表面形貌、硬度、彈性、電磁性等進行表征，具有成像分辨率高、精度高、非接觸式成像等優(yōu)點。目前AFM已成為材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、電子學(xué)等領(lǐng)域中常用的表面分析工具之一。

　　目前AFM的研究方向主要包括開發(fā)新型探針、顯微鏡結(jié)構(gòu)的改進、數(shù)據(jù)處理算法的創(chuàng)新等，其應(yīng)用領(lǐng)域也在不斷擴展。本文將從AFM的原理、探針、成像模式、顯微鏡結(jié)構(gòu)、應(yīng)用領(lǐng)域等幾個方面進行介紹。

　　二、原理

　　AFM最基本的原理是通過探針和樣品表面之間的相互作用來測量表面形貌和性質(zhì)。探針位于樣品表面上方，探針控制器通過樣品反饋來控制探針間距，從而實現(xiàn)在樣品表面掃描的過程。掃描時探針與樣品之間存在靜電相互作用力、范德華力、化學(xué)作用力、磁作用力等，這些力的變化將反映在探針的運動以及探針位置的改變上，并且可以轉(zhuǎn)換成電信號。

　　AFM會將探針與樣品表面的相對位置轉(zhuǎn)化成電信號，由此就能得到在樣品表面各點的高度信息。在掃描之后的數(shù)據(jù)處理中，AFM可以對原始數(shù)據(jù)進行平滑和濾波，得到高質(zhì)量的表面形貌和力學(xué)性質(zhì)圖像。通過掃描不同區(qū)域，可以得到樣品表面的全貌。

　　三、探針

　　AFM的探針是其成像的核心，它有很多種，具體有硅探針、鉆石探針、金剛石探針、碳納米管探針等。探針的選擇取決于不同應(yīng)用領(lǐng)域?qū)Ψ直媛?、靈敏度、硬度、使用壽命等方面的要求。

　　目前AFM領(lǐng)域常用的硅探針主要分為單晶硅和多晶硅兩種。它們的區(qū)別在于硅晶體的結(jié)構(gòu)不同，從而也會對熱膨脹系數(shù)、硬度、剛性等產(chǎn)生影響。單晶硅探針的剛性和靈敏度更高，但制造成本較高；多晶硅則反之。因此，在實際使用中，根據(jù)需要進行選擇。