頂升烤膠機(jī):一種用于半導(dǎo)體封裝、LED制造等領(lǐng)域的精密設(shè)備,特別是芯片光刻工藝中的前烘、中烘和后烘,如涂膠后的軟烘(去除光刻膠中的溶劑,使其初步固化),暴光后烘烤用于增強(qiáng)光刻膠的化學(xué)反應(yīng),提高圖案的清晰度和分辨率;顯影后的最終烘烤,進(jìn)一步提高光刻膠的粘附性和穩(wěn)定性。
該產(chǎn)品其核心特點(diǎn)在于具備頂升功能,能夠?qū)崿F(xiàn)烘烤過程中的精準(zhǔn)時間和溫度控制,確保光刻膠在芯片制作中的性能和質(zhì)量,從而提高芯片的制造精度和可靠性。