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使用高低溫真空探針臺(tái)的實(shí)驗(yàn)附件及常規(guī)測(cè)試步驟
閱讀：598 發(fā)布時(shí)間：2024-1-12
高低溫真空探針臺(tái)應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體材料光電檢測(cè)，功率器件測(cè)試，MEMS測(cè)試，PCB測(cè)試，液晶面板測(cè)試，測(cè)量表面電阻率測(cè)試，精密儀器生產(chǎn)檢測(cè)，航空航天實(shí)驗(yàn)室。
高低溫真空探針臺(tái)又稱(chēng)探針測(cè)試臺(tái)，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析，抽查測(cè)試等用途。
探針臺(tái)結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低的簡(jiǎn)易式探針臺(tái)，在滿(mǎn)足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺(tái)探針座，四維調(diào)整載片臺(tái)（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；譜量光電可以根據(jù)客戶(hù)應(yīng)用搭建探針臺(tái)，以達(dá)到更好得使用效果和性?xún)r(jià)比。
實(shí)驗(yàn)附件及常規(guī)測(cè)試步驟：
光學(xué)隔振平臺(tái)（臺(tái)面＞600mm*600mm），一臺(tái)計(jì)算機(jī)（標(biāo)準(zhǔn)VGA接口和USB3.0接口）吉時(shí)利2400數(shù)字源表（含軟件）等測(cè)試時(shí)連接探針臺(tái)和數(shù)字源表，探針接被測(cè)物體，通過(guò)顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測(cè)物表面，待連接導(dǎo)通后打開(kāi)源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點(diǎn)的I-V性能曲線(xiàn)。