探針座作為探針臺的核心部件,主要用途是連接探針和線纜,為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個導(dǎo)通條件,從調(diào)節(jié)精度上來區(qū)分可分為10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等,從操作方式來區(qū)分可分為手動和電動,此外根據(jù)應(yīng)用場景的不同又可分為通用型探針座/萬向型探針座/L型探針座等,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體及光電行業(yè)的電學(xué)參數(shù)測試。
技術(shù)優(yōu)勢:
主體材質(zhì)采用進口航空鋁,表面噴砂氧化,優(yōu)質(zhì)的機械性能;
采用進口交叉滾珠導(dǎo)軌,超高穩(wěn)定性;
采用進口高分辨率微分頭驅(qū)動,提高整體位移精度;
多功能調(diào)節(jié)夾具,可以實現(xiàn)180°旋轉(zhuǎn)及60°定向傾斜調(diào)節(jié);
適用于在顯微鏡下定向調(diào)節(jié)探針,無視野遮擋;
底部強力可調(diào)磁性底座,磁性吸附可達(dá)10Kg,保證扎針的穩(wěn)定性;
可選配升級真空吸附,搭配7L/min真空泵。
細(xì)節(jié)展示:
1.角度鎖緊裝置:可以隨時鎖緊角度以保證扎針穩(wěn)定
2.精密角度調(diào)節(jié):角度調(diào)節(jié)裝置可以精密調(diào)節(jié)角度
3.角度鎖緊裝置:管狀鍍金夾具,集成探針管
4.可調(diào)磁性底座:底部可調(diào)磁性底座,帶有OFF/ON,可以通過旋鈕調(diào)節(jié)磁性有無
5.三維調(diào)整結(jié)構(gòu):精密交叉滾珠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),配合高分辨率微分頭,保證線性精度
6.同軸/三同軸:同軸/三同軸線纜,可匹配BNC、香蕉插頭、鱷魚夾、等適配不同儀表
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