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沈陽芯源微電子設備股份有限公司
所屬行業(yè)：電子技術/半導體/集成電路 機械/設備/重工
芯源公司總部位于沈陽市渾南區(qū)，并在上海臨港設有全資子公司。公司總部占地4萬平米，擁有專業(yè)的集成電路工藝開發(fā)和檢測實驗室以及半導體設備生產(chǎn)組裝車間。芯源公司通過多年技術積累、創(chuàng)新提高，形成自主知識產(chǎn)權體系，已擁有授權237項，其中發(fā)明167項。沈陽芯源公司作為半導體裝備制造企業(yè)，所開發(fā)的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產(chǎn)品，已形成完整的技術體系和豐富的產(chǎn)品系列，可根據(jù)用戶的工藝要求量身定制。產(chǎn)品適應不同工藝等級的客戶要求，廣泛應用于半導體生產(chǎn)、封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領域。可滿足300mm前道制程及300mm先進封裝厚膠工藝制程。芯源公司連續(xù)承擔國家02科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》項目，連續(xù)兩年被評為中國半導體企業(yè)。
2019年12月16日，芯源公司在上交所科創(chuàng)板上市，成為“遼寧省科創(chuàng)板*股"。借力資本市場，芯源將加速提升企業(yè)的創(chuàng)新能力和產(chǎn)品成套能力，以先進可靠的產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)服務贏得客戶信賴，為客戶提供先進的半導體設備，成為全球半導體設備企業(yè)，助推產(chǎn)業(yè)技術進步
