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計測*EBARA荏原高速排氣用干式真空泵

參   考   價: ￥ 2158

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號ESA15-D

品       牌EBARA/荏原

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地深圳市

更新時間：2024-08-13 18:25:37瀏覽次數(shù)：302次

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泵軸位置 臥式 抽氣量 見參數(shù)
輸送介質(zhì) 其他 外形尺寸 見參數(shù)
葉輪數(shù)目 單級 應用領域 石油,能源,電子/電池,電氣,綜合
最大工作壓強 見參數(shù)
計測*EBARA荏原高速排氣用干式真空泵

產(chǎn)品介紹
ESA型有適合排出氫氣等輕質(zhì)氣體的排量1,400L/min～10,000L/min的型號，以及適合排氣的20,000L/min～80,000L/min的排量型號。適合大型腔體的高速排氣。 10,000L/min 或更低型號適用于輕質(zhì)氣體排氣，設計緊湊，并提供耐腐蝕材料選項，非常適合 MO-CVD 等高流量輕質(zhì)氣體排氣應用。大型機型在大排量的情

計測*EBARA荏原高速排氣用干式真空泵

計測*EBARA荏原高速排氣用干式真空泵


可排氣氫氣等輕質(zhì)氣體的干式真空泵/大室高速排氣

產(chǎn)品介紹

ESA型有適合排出氫氣等輕質(zhì)氣體的排量1,400L/min～10,000L/min的型號，以及適合排氣的20,000L/min～80,000L/min的排量型號。適合大型腔體的高速排氣。 10,000L/min 或更低型號適用于輕質(zhì)氣體排氣，設計緊湊，并提供耐腐蝕材料選項，非常適合 MO-CVD 等高流量輕質(zhì)氣體排氣應用。大型機型在大排量的情況下仍能實現(xiàn)安靜的噪音和低振動，并且還可以選擇有機溶劑排氣，使其成為液晶濺射設備、真空干燥工藝、大型負載鎖等的理想選擇。



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