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VAT全系列真空閥門簡介：

VAT真空閥的設計適用于所有真空度，直至高真空、超高真空和超高真空條件。

VAT真空閥是在潔凈室條件下生產(chǎn)的，并為其各自的應用量身定做。除了高純度外，VAT真空閥由于其高度精確的功能和耐用性，即使在的運行條件下也表現(xiàn)佳。

通過全面的真空隔離閥和控制閥、氣體定量閥、傳輸閥和排氣閥、淹沒閥以及快速關閉閥的產(chǎn)品組合，VAT為所有應用領域提供了最佳的解決方案。

技術是關鍵，為了地保證最佳的真空隔離或控制功能，VAT真空閥采用了VAT開發(fā)的不同的真空閥技術。這些技術除了確保防止顆粒物的功能外，還確保在大量的關閉和控制周期內(nèi)精確運行。

VAT真空閘閥、應用廣泛的真空角閥以及蝶式真空閥、擺式真空閥或全金屬真空閥因此為所有領域的真空閥解決方案設定了標準。

VAT全系列真空閥門分類：

真空控制閥:

真空閘閥：

真空角閥/內(nèi)聯(lián)閥/氣缸閥：

真空蝶閥：

真空擺閥：

泄壓/排氣閥：

氣體計量閥：

真空止回閥：

真空全金屬閥：

真空傳輸閥：

真空多閥裝置：

不同類型閥的特點計應用:

真空閘閥 – 通常是隔離或較簡單的控制應用的理想選擇。安裝深度很窄，傳導性最大（流阻最?。l門的行程空間需要。這些也可以采取真空狹縫閥、真空傳輸閥或真空門的形式，產(chǎn)品通過這些閥門被引入真空工藝室。

真空角閥 – 通用的一般用途真空閥。尺寸非常緊湊，通常在密封、執(zhí)行器和傳感器方面非常模塊化。平均電導率，非常容易維護。非常好，如果需要的話，有非常精確的可控性。

真空蝶閥 – 主要用于控制應用。非常窄的安裝深度，良好的傳導性，快速和精確的可控性。

真空擺閥 – 非常窄的安裝深度和緊湊的尺寸，結(jié)合非常精確的控制行為，非常好的絕緣能力和非常高的傳導性。

對稱流真空調(diào)節(jié)閥 – 特殊類型，優(yōu)化了從第一個開口到整個閥門開口的非常均勻的流動行為。

氣體計量閥或漏氣閥 – 特別是對于非常精細的計量，例如，低流量的工藝氣體的計量。

泄壓閥或排氣閥 – 安全閥允許真空系統(tǒng)有控制地，通常是通風，并防止超過規(guī)定的壓力條件。

真空止回閥 –被動式，體積流量和壓差操作的閥門。通常用于保護真空系統(tǒng)免受倒流污染。例如，用于真空回流泵和真空系統(tǒng)之間。

快速閉合閥 – 主動式保護閥，通常保護較大的真空體積或真空室不因泄漏而造成真空損失。主要特點：對檢測到的壓力下降有非?？斓年P閉反應。在UHV和XHV應用中，通常由扇形真空閥（通常是真空閘閥）支持，以確保即使在非常高的壓差下也能實現(xiàn)密封隔離。

真空全金屬閥 – 專為壓力、溫度和輻射條件設計的一組真空閥。主要特點：硬對硬（金屬對金屬）的密封，而不是彈性密封，因為彈性密封無法承受服務條件。

真空多閥裝置 – 特殊類型的真空閥，將幾種真空閥的功能結(jié)合在一個單元中。主要特點：減少部件數(shù)量，裝配速度快。通常是根據(jù)客戶要求定制。

3位真空閥 – 真空隔離閥的特殊形式，其中除了關閉和打開的位置外，還可以定義第三個閥位。例如，一種應用是為了避免在高壓差時由于閥門打開過快而產(chǎn)生的壓力脈沖。 在第三個位置，密封圈上的接觸壓力在短時間內(nèi)略微降低，而閥門卻沒有明顯的打開，從而使壓力變化更加平穩(wěn)。

除了這些基本類型，還有大量的混合變體，其中一些結(jié)合了不同的閥門技術或為某些特殊要求提供解決方案。

什么是高性能真空閥？

某些真空工藝對工藝環(huán)境的純度以及化學和物理穩(wěn)定性有特別高的要求。例如，這適用于幾乎所有的半導體生產(chǎn)領域，以及許多使用真空系統(tǒng)的研究設施。在基礎研究領域，處理條件的能力，如非常高或低的溫度、強輻射和壓力高達10-15mbar的高真空（XHV）--目前技術上可行和可測量的極限--常常被添加到這些要求中。

這些應用中的真空閥在以下方面與標準真空閥不同:

最小化的顆粒排放

高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化，不會通過其外殼、機械裝置或密封件的材料放出顆粒，也不會通過其開閉或控制運動的摩擦放出顆粒。這是通過對所用材料的特殊選擇和處理，以及通過某些設計細節(jié)來實現(xiàn)的，這些細節(jié)可以最大限度地減少或在某些情況下消除粒子的釋放。

最小化的運動脈沖

每一個閥門通過其開啟和關閉運動產(chǎn)生運動脈沖。在自動驅(qū)動閥門的情況下，這些脈沖的范圍可以從輕微的振動到可以聽到和感知的硬沖擊。這些運動脈沖可能會對敏感的制造工藝產(chǎn)生負面影響，例如，通過額外的顆粒釋放。除了設計特點外，高性能真空閥主要通過控制所謂的運動曲線來減少這些脈沖。與乘客電梯的運行方式類似，在到達關閉點前不久，關閉速度會減慢，以防止 "撞擊"。這些運動曲線通?？梢员恍薷模?，在關閉時間和關閉頻率方面，它們可以適應所需條件。

中性化學和物理行為

真空閥總是改變真空工藝室的均勻性，無論其形式如何。這種情況的發(fā)生，部分是由于其幾何形狀的結(jié)果。流動路徑的變窄或變寬可以改變流動阻力和流動速度，或者死角，如閥板的移動空間，可以促進沉積過程。這也是通過開啟和關閉運動發(fā)生的，它改變了流動行為以及工藝氣體的濃度、分布、混合和溫度。高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化，盡可能地補償這種影響，或使其可控。為此，在設計中加入了各種額外的技術，這些技術遠遠超出了閥門的基本功能，如開啟和關閉或控制。

精確的可重復的行為

高性能真空閥與標準溶液的區(qū)別主要在于其高度可重復的行為。這意味著，雖然標準解決方案在每個單獨的打開和關閉運動中表現(xiàn)出波動，并在使用期間顯示出對其定義的性能值的偏差，但高性能真空閥經(jīng)過優(yōu)化，在長時間的使用中始終表現(xiàn)出相同的行為，定義在非常窄的范圍內(nèi)。這意味著它們能夠穩(wěn)定真空過程，并將過程控制的復雜性降到zuidi。

真空閥的類型有哪些？

真空閥和其他閥門一樣，使用一些基本的力學原理，如閘閥、擋板盤或旋轉(zhuǎn)盤來分離或隔離真空區(qū)域并控制體積流量。然而，使用這些力學原理的基本條件是wanquan不同的。例如，高自由度的顆粒、精確控制非常小的體積流動、密封、最小的振動和沖擊是至關重要的特性。因此，這些基本的機械裝置通常為真空閥設計得不同。例如，關閉機構(gòu)通常被設計為無摩擦地關閉，并引起最小的振動和沖擊，如果有的話。此外，控制運動可以是極其精細的劑量，密封被優(yōu)化，以便在理想情況下不釋放任何顆粒，其靜態(tài)或動態(tài)特性在長期使用中保持穩(wěn)定。