日本SIMCO思美高負離子器
具有廣泛可調性和ISO 14644-12電離的調制脈沖技術
日本SIMCO思美高負離子器
Simco-Ion 的 AeroBar 5635 調制脈沖電離棒專為消除半導體和其他需要快速放電時間、低擺幅電壓和精密平衡的超潔凈制造工藝中的靜電荷而設計。5635 型采用 MP 技術，將高頻正弦波與調制脈沖 （MP） 相結合，以實現高離子輸出和傳輸。這項突破性技術使 AeroBar 能夠安裝在晶圓 150 mm 以內。MP 技術與超潔凈硅發(fā)射點和精密調節(jié)相結合，可提供 ISO 14644-12 電離（0.01 μm 顆粒或納米顆粒）和 ISO 14644 1 級（0.1 μm 顆粒）清潔度，這對于較小的技術節(jié)點至關重要。
擴展 ISO 1 級 （10 nm） 顆粒 清潔
調制脈沖技術
出色的橫向均勻性
低場電壓
空氣輔助功能
可選軟件，界面易于使用，可調節(jié)性廣
報警輸出信號
日本SIMCO思美高負離子器
規(guī)格
| 電壓 | 輸入：24 VDC ±10% 功率輸入 RJ-45;0.7A（最大值）
輸出：13.5 kV p-p（最大值），可調 |
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| 放電 | 15 秒內 ±1000-100V（典型值），無空氣輔助，發(fā)射極中心點組下方 24“ 處 Vp-p 擺動為 80 |
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| 平衡 | <±35V 在受控環(huán)境中以 18“ 距離測量 |
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| 離子發(fā)射 | 調制脈沖 （MP） 技術 |
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| 發(fā)射 | ISO 14644-1 1 類單晶硅 |
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| 潔凈室類 | ISO 14644-1（0.1 μm 顆粒）和擴展的 ISO 1 級清潔度（10 nm 顆?；蚣{米顆粒），使用 45-50% 輸出電壓設置和帶有單晶硅發(fā)射器的 OpenJet 噴嘴 |
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| 尺寸 | 3.1 英寸（高）x 1.3 英寸（寬）x 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5 英寸長（7.8 x 3.4 x 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 厘米） |
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