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TU-3100/JTAISEI大成技研 蝕刻廢氣除粉真空裝置
| 參考價(jià): | ￥ 14833 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- TU-3100/J 產(chǎn)品型號(hào)
- TAISEI/日本 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：277更新時(shí)間：2024-08-07 17:06:57
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬-2萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),制藥,綜合 |
TRAPACK是一種粉末去除捕集器，可去除半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備廢氣中的反應(yīng)產(chǎn)物（細(xì)粉）。結(jié)構(gòu)有渦流旋流吸附型、磁性元件型（Trapac Element）以及兩者結(jié)合的組合型三種。特別是，組合型排除了蝕刻設(shè)備和CVD設(shè)備發(fā)出的亞微米細(xì)粉
產(chǎn)品介紹
TAISEI大成技研 蝕刻廢氣除粉真空裝置
TAISEI大成技研 蝕刻廢氣除粉真空裝置
大成技研株式會(huì)社提供的“氣體粉末去除裝置"主要去除半導(dǎo)體、液晶制造設(shè)備（離子注入、CVD、蝕刻等）中排出的氣體反應(yīng)生成物（微細(xì)粉末）。
特別是，通過旋轉(zhuǎn)渦流吸附和高性能磁性元件，可以排除離子注入和CVD設(shè)備中產(chǎn)生的1μm以下的反應(yīng)產(chǎn)物。該裝置在元件內(nèi)幾乎沒有壓力損失，可用于真空泵的前級(jí)和后級(jí)，是一種創(chuàng)新的粉末捕集器，可以輕松處理現(xiàn)有過濾器無法去除的細(xì)粉末。它有望顯著減少維護(hù)工時(shí)并提高生產(chǎn)率。
TRAPACK是一種粉末去除捕集器，可去除半導(dǎo)體和液晶制造設(shè)備廢氣中的反應(yīng)產(chǎn)物（細(xì)粉）。結(jié)構(gòu)有渦流旋流吸附型、磁性元件型（Trapac Element）以及兩者結(jié)合的組合型三種。特別是，組合型排除了蝕刻設(shè)備和CVD設(shè)備發(fā)出的亞微米細(xì)粉。
清潔廢氣管道 減少前線閥門的維護(hù) 真空泵故障預(yù)防 提高生產(chǎn)力 減少前線維護(hù)
外觀結(jié)構(gòu) 特征
去除細(xì)小反應(yīng)產(chǎn)物（細(xì)粉）
單元密度低，網(wǎng)格空隙大
粉末分層在元件的表面和內(nèi)部。
主要用途 規(guī)格
注入 ?一次元件/Trapac元件
蝕刻 ?次要元素/無
安裝位置/真空、排氣
TU-KN100
（元件型） 主要用途：通用
元件類型：DL
端口尺寸：NW25
尺寸：D90mm x H195mm
重量：1.9kg
TU-KN200
（元件型） 主要用途：通用
元件類型：EL
端口尺寸：NW40
尺寸：D140mm x H210mm
重量：4.6kg
TU-KN500
（元件型） 主要用途：通用
元件類型：GL
端口尺寸：NW40
尺寸：D210mm x H260mm
重量：10kg
TU-KN500W
（元件型） 主要用途：通用
元件類型：HL
接管尺寸：NW40
尺寸：D210mm x H390mm
重量：13kg
TU-200
（元件型） 主要用途：
植入 元件類型：EL
連接尺寸：NW25
尺寸：D210mm x H210mm
重量：5.3kg
TU-250
（元件型） 主要用途：
植入 元件類型：FL
連接尺寸：NW40
尺寸：D210mm x H295mm
重量：6.5kg
TU-500
（元件型） 主要應(yīng)用：廠內(nèi)/蝕刻
元件類型：GL
連接直徑：NW40
尺寸：D300mm x H267mm
重量：10.0kg
TU-500W
（元件型） 主要應(yīng)用：植入/蝕刻
元件類型：HL
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：D300mm x H415mm
重量：13kg
TU-1000
（元件型） 主要應(yīng)用：就位/蝕刻
元件類型：GL
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：D300mm x H555mm
重量：16.5kg
頁首
TRAPPACK（Uzu型）
這是一種氣體除粉裝置，是 Trapac 的進(jìn)一步發(fā)展，配備了漩渦型元件。
外觀結(jié)構(gòu) 特征
由于螺旋結(jié)構(gòu)，粉末不會(huì)長(zhǎng)時(shí)間經(jīng)歷壓力損失
幾乎所有粉末都被渦流數(shù)和渦流螺距的組合拒之門外。
粉末分層在安裝的渦流元件的表面上。
?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件
?二次元件 / 無 ?安裝位置 / 真空、排氣
TU-50LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-50 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□370mm x H707mm
重量：53kg / 68kg
TU-65LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-65 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□400mm x H1013mm
重量：94kg / 99kg
TU-85LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-85 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□430mm x H1064mm
重量：100kg / 115kg
TU-95LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-95 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□485mm x H1064mm
重量：145kg / 160kg
TU-105LM /LMJ
(渦流型) 主要用途：蝕刻/CVD
元件類型：ASD-105 渦流
連接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□535mm x H1264mm
重量：180kg / 240kg
頁首
TRAPPACK（組合型）
TRAPACK的進(jìn)一步進(jìn)化，配備組合型元件（渦流型+元件型）的氣態(tài)除粉裝置。
外觀結(jié)構(gòu) 特征
去除細(xì)小反應(yīng)產(chǎn)物（細(xì)粉）
單元密度低，網(wǎng)格空隙大
粉末在螺旋和元件部分分層。
?主要用途 / CVD、蝕刻 ?一次元件 / 渦流元件
?二次元件 / Trapak 元件 ?安裝位
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