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FUJI富士工業(yè) CMP化學(xué)藥液專用單組分濃度計 FUD-1 Model-13

單組分濃度計特點
可實時測量濃度，濃度管理系統(tǒng)構(gòu)建簡單。模擬DC4-20mA和數(shù)字RS232C是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
標(biāo)準(zhǔn)配備測量誤差輸出和報警輸出
標(biāo)準(zhǔn)配備自診斷功能和錯誤信息顯示
小型、輕量的單元型發(fā)射器可以直接安裝在生產(chǎn)線上。
接液部件材質(zhì)采用PFA，小產(chǎn)量設(shè)計對化學(xué)溶液無影響。

優(yōu)點
可實現(xiàn)高精度連續(xù)測量
免維護，無需定期調(diào)整或校準(zhǔn)
安裝方便，安裝過程中無需進行各種調(diào)整
通過實時輸出輕松反饋流程

目的

CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度管理等
稀釋過程中各種化學(xué)品濃度控制（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）
清洗過程中清洗液濃度控制等（HF、NH4OH、KOH、IPA等）
蝕刻過程中蝕刻液濃度控制（HF、H2SO4等）

FUJI富士工業(yè) CMP化學(xué)藥液專用單組分濃度計

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