| 電動機功率 |
見參數(shù)kW |
外形尺寸 |
中等的mm |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 |
建材/家具,電子/電池,道路/軌道/船舶,電氣,綜合 |
重量 |
見參數(shù)kg |
| 訂貨號 |
176.0755.4908. |
HORIBA堀場 電極用塑料支架 CH-101-1.0
從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制
保證高精度
1秒內(nèi)高速響應(yīng)
全量程（T98）
尺寸緊湊，
HORIBA堀場 電極用塑料支架 CH-101-1.0
HORIBA堀場 電極用塑料支架 CH-101-1.0
使用反應(yīng)濺射將觸摸面板和玻璃基板的薄膜沉積在基材上。反應(yīng)性濺射法是在真空中使濺射粒子與氧或氮發(fā)生化學(xué)反應(yīng)來成膜的方法，但定量供給反應(yīng)氣體的方法會導(dǎo)致成膜速度變慢，難以實用化。 。然而，已知反應(yīng)模式和金屬模式之間存在不穩(wěn)定的過渡模式，沉積速率較快，且沉積速率變化較大，可以通過基于反應(yīng)氣體的控制來維持過渡區(qū)域。等離子體發(fā)射強度。
等離子發(fā)射控制器RU-1000使用傳感器檢測等離子發(fā)射強度，并使用 的算法向內(nèi)部制造的高速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器指示適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)氣體流量，從而使成膜速度接近于金屬模式并實現(xiàn)穩(wěn)定的成膜。
業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別：干燥過程控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
特征
應(yīng)用
下載
等離子發(fā)射控制器RU-1000用于提高沉積速度。通過控制過渡區(qū)的反應(yīng)氣體，與定量供給反應(yīng)氣體的方法相比，成膜速度可以提高數(shù)倍。
通過將多個等離子體發(fā)射強度傳感器安裝到寬幅基板上并利用這些信號高速控制反應(yīng)氣體，可以實現(xiàn)極其均勻的成膜。
等離子發(fā)射控制器RU-1000是一款售后服務(wù)優(yōu)良的國產(chǎn)產(chǎn)品，由專門從事光學(xué)技術(shù)的Horiba和擁有優(yōu)秀氣體控制技術(shù)的Horiba Estec制造。
制造商特點
在生產(chǎn)等離子體發(fā)射控制器時，HORIBA, Ltd.負(fù)責(zé)測量等離子體發(fā)射強度的基本光學(xué)設(shè)計，HORIBA STEC, Ltd.負(fù)責(zé)控制反應(yīng)氣體流量的功能部分的設(shè)計。高速。堀場制作所是汽車尾氣分析儀、薄膜測量、理化分析領(lǐng)域的頂尖公司，而這些分析技術(shù)的基本原理是光學(xué)測量技術(shù)，因此等離子體發(fā)光測量是由日本堀場制作所進(jìn)行的。該領(lǐng)域的頂尖公司。另一方面，反應(yīng)氣體流量的控制部分由全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中 的質(zhì)量流量控制器（氣體流量控制裝置）的制造商負(fù)責(zé)。等離子發(fā)射控制器 RU-1000 匯集了堀場集團的最佳技術(shù)，并將繼續(xù)挑戰(zhàn)技術(shù)的發(fā)展，達(dá)到更高的高度。
對于要求演示的客戶
在本公司，我們出租控制器和等離子測量裝置等系統(tǒng)，以便與客戶的系統(tǒng)相匹配，讓客戶放心使用。
對于給您帶來的不便，我們深表歉意，但請單擊下面的圖標(biāo)并輸入所需的信息。
我們的代表將確認(rèn)您所需的日期和所需的系統(tǒng)。
池田屋實業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年，位于廣東省深圳市，是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。公司經(jīng)過多年的發(fā)展，已整
合多方海外廠商渠道，有穩(wěn)定的合作關(guān)系，為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務(wù)。池田屋主要經(jīng)營日本
科學(xué)儀器設(shè)備、實驗室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設(shè)備、光學(xué)設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。
公司擁有專業(yè)的銷售團隊、技術(shù)團隊、資深的管理團隊，通過全體員工的不懈努力，憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟
技術(shù)，服務(wù)于電子消費類、半導(dǎo)體，液晶光電，汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強企業(yè)。
“捕捉變化，開拓未來"
~通過科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和未來的人才培養(yǎng)為社會做貢獻(xiàn)~
我們以“教育科學(xué)設(shè)備領(lǐng)域"和“研究科學(xué)設(shè)備領(lǐng)域"為支柱，在本公司，全體員工以“了解變化，開拓未來"的挑戰(zhàn)精神和
“用人、育人"的企業(yè)文化為基礎(chǔ)，以池田屋有的方式響應(yīng)客戶的需求。
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