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壓電·三維掃描運動 SH30.xyz.C

? 針對精密光學、半導體表征等“3自由度掃描運動"需求的定制解決方案

• 三維度XY掃描運動 30 um x 30 um x 15 um；

• 外形尺寸，160 mm x 160 mm x 35 mm；

• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 0.3 nm；

• 最大負載10 kg；

• 支持高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級；

XYZ三維壓電掃描臺，高負載，兼容高真空——詳細參數：

XYZ三維壓電掃描臺，高負載，兼容高真空——尺寸圖：

多場科技“壓電掃描臺·緊湊型"解決方案主要包含：

S —— 掃描標準系列；

SD —— 高動態(tài)系列；

SH —— 高負載系列。

S, SD & SH 系列覆蓋X軸單維度運動、Z軸單維度運動、XY軸雙維度運動和XYZ軸三維度運動等應用場景，支持電容閉環(huán)傳感，可選無磁/高真空/超高真空選件升級。