目錄:多場(chǎng)低溫科技（北京）有限公司>>壓電運(yùn)動(dòng)·室溫>>通孔型·掃描臺(tái)>> Carrier.Sxxx.xyRz.C壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)，高負(fù)載通孔型，XYRz方向
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更新時(shí)間：2024-07-25 16:02:14瀏覽次數(shù)：668評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,電氣,綜合 |
壓電載物臺(tái)·高負(fù)載通孔型 Carrier.S100.xyRz.C
? 高負(fù)載·高速XY平面運(yùn)動(dòng)，Z軸旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)，保證XY面內(nèi)準(zhǔn)直運(yùn)動(dòng)
• 兩維度 XY 掃描運(yùn)動(dòng)100 um, Z軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)1 mrad；
• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于 1 nm；
• 最大負(fù)載 5 kg；
• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決方案；
• ?持無(wú)磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)；
壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)，高負(fù)載通孔型，XYRz方向——詳細(xì)參數(shù)：
壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)，高負(fù)載通孔型，XYRz方向——尺寸圖：
多場(chǎng)科技“壓電掃描臺(tái)·通孔型"解決方案包括Carrier.S 系列（標(biāo)準(zhǔn)型）和Carrier.SL 系列（輕量型）。Carrier.S & SL系列主要針對(duì)精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征等應(yīng)用場(chǎng)景，覆蓋載物臺(tái)“大行程·高精度·重負(fù)載"等需求，核心特點(diǎn)包括：
• 運(yùn)動(dòng)方式覆蓋線性運(yùn)動(dòng) & 俯仰運(yùn)動(dòng)
• X，Z，XY，XYZ & ZTT等運(yùn)動(dòng)形式全面支持
• 線性運(yùn)動(dòng)行程覆蓋100 um 到 300 um (可定制更大行程)
• 支持電容(.C) 位置傳感
• 最高分辨率達(dá)到0.2 nm
• 超快運(yùn)動(dòng)響應(yīng) & 長(zhǎng)時(shí)間疲勞測(cè)試
• 支持無(wú)磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 選件升級(jí)
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