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當(dāng)前位置：深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>實(shí)驗(yàn)設(shè)備>>涂布機(jī)>> MS-B100 / MS-B150日本MIKASA小型高性能旋涂機(jī)涂布機(jī)潔凈室用
產(chǎn)品型號(hào)MS-B100 / MS-B150
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間：2024-10-12 14:49:19瀏覽次數(shù)：588次
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日本MIKASA晶圓表面涂抹設(shè)備半導(dǎo)體用涂布機(jī)
日本MIKASA小型高性能旋涂機(jī)涂布機(jī)潔凈室用
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|
日本MIKASA小型高性能旋涂機(jī)涂布機(jī)潔凈室用 MS-B100 / MS-B150 特點(diǎn)介紹
產(chǎn)品采用AC伺服電機(jī)且無刷，因此在防止?jié)崈羰椅廴痉矫婢哂谐錾男阅?，并且減少電機(jī)的發(fā)熱以防止連續(xù)使用時(shí)的溫度升高。膜厚再現(xiàn)性也較低。
日本MIKASA小型高性能旋涂機(jī)涂布機(jī)潔凈室用 MS-B100 / MS-B150規(guī)格參數(shù)
MS-B100
最大板尺寸 φ4英寸晶圓或75×75mm基板
轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)/分） 20～8,000
旋轉(zhuǎn)精度 ±1rpm（負(fù)載時(shí)）
發(fā)動(dòng)機(jī) 交流伺服電機(jī)
蓋 丙烯酸纖維
紡絲室直徑 φ220mm
步進(jìn)模式數(shù)量 100 步 x 10 種模式
時(shí)間設(shè)置 999.9秒
安全聯(lián)鎖裝置 真空標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
蓋子可選
滴水裝置 無法安裝
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
電源 AC100~240V 5A
外形尺寸（毫米） 259寬×246高×330深
重量 10公斤
MS-B150
最大板尺寸 φ6英寸晶圓或100×100mm基板
轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)/分） 20～7,000
旋轉(zhuǎn)精度 ±1rpm（負(fù)載時(shí)）
發(fā)動(dòng)機(jī) 交流伺服電機(jī)
蓋 丙烯酸纖維
紡絲室直徑 φ290mm
步進(jìn)模式數(shù)量 100 步 x 10 種模式
時(shí)間設(shè)置 999.9秒
安全聯(lián)鎖裝置 真空標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
蓋子可選
滴水裝置 選項(xiàng)
使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa
電源 AC100~240V 5A
外形尺寸（毫米） 352寬×303高×432深
重量 16公斤
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