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當(dāng)前位置：深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司>>專(zhuān)用儀器>>回收裝置>> NAC-302日本nasgiken微量金屬污染物自動(dòng)回收裝置
產(chǎn)品型號(hào)NAC-302
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
所 在 地深圳市
更新時(shí)間：2024-10-12 20:02:38瀏覽次數(shù)：327次
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日本nasgiken金屬物質(zhì)自動(dòng)回收設(shè)備N(xiāo)AC系列
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合 |
|---|
日本nasgiken微量金屬污染物自動(dòng)回收裝置 NAC-302 特點(diǎn)介紹
●硅片的處理過(guò)程是自動(dòng)化的，從氣相分解到污染物回收再到收集樣品的稀釋。
●疏水性和親水性晶圓均可收集（斜面收集只能收集疏水性晶圓）。
●當(dāng)需要同時(shí)對(duì)大量晶圓進(jìn)行采樣和分析時(shí)，這是一種極其強(qiáng)大的設(shè)備。
●具有對(duì)回收的藥液進(jìn)行計(jì)量和稀釋的功能，防止晶圓上殘留的藥液繼續(xù)作業(yè)。
●雙門(mén)結(jié)構(gòu)，防止工作空間內(nèi)的酸性氣氛和工人的污染。
●配備自動(dòng)清潔取樣用支架的功能，減少操作員的工作量（*前支架和側(cè)支架兼容）。
我們還擁有全自動(dòng)執(zhí)行“批量蝕刻→晶圓污染恢復(fù)"的設(shè)備（NAC-304）。
此外，近年來(lái)，為了減少污染，對(duì)能夠執(zhí)行“整體蝕刻→晶片污染回收→ICP-MS連接和自動(dòng)元素分析"整個(gè)過(guò)程的設(shè)備的需求非常高（NAC-316）。
日本nasgiken微量金屬污染物自動(dòng)回收裝置 NAC-302 規(guī)格參數(shù)
設(shè)備名稱(chēng) NAC-302 NAC-304 NAC-316
兼容晶圓尺寸 125毫米、150毫米、
200毫米、300毫米 125毫米、150毫米、
200毫米、300毫米 300毫米
內(nèi)置電腦
外形尺寸（寬×深×高）（毫米）（*1）1850×1350×20002000×1500×20001700×2800×2300
使用設(shè)備酸排放、一般廢氣、酸廢氣
使用地點(diǎn)無(wú)塵室內(nèi)部
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