Thermo Scientific 循環(huán)冷卻器、水- 水熱交換器和用戶定制解決方案
無論是光刻、注入、刻蝕、沉積、拋光、封裝還是半導體測試，Thermo Scientific™循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導體工藝流程提供支持。憑借在半導體行業(yè)30 多年的溫度控制專業(yè)技術(shù)，我們提供標準產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及化服務，有助于滿足您從光刻到最終測試的半導體工藝流程中苛刻的溫度要求。
1 上述參數(shù)是在海平面高度用水作為循環(huán)流體，在過程設定點為+20℃，環(huán)境條件為+25℃及標稱工作電壓下得出的。制冷能力基于帶P2泵的冷卻器，無背壓。規(guī)格如有變更，恕不另行通知。多種泵可選；其他泵會影響制冷性能。
2 上述參數(shù)是在海平面高度用乙二醇和水（比例為50/50）的混合物作為循環(huán)液體，在過程設定點為20℃，環(huán)境條件為+20℃及標稱工作電壓下得出的。其他液體、流程溫度、環(huán)境溫度、海拔高度或工作電壓都會影響性能。規(guī)格如有變更，恕不另行通知。制冷能力基于帶PD1泵的裝置，無背壓。其他泵會影響制冷性能。
3 上述參數(shù)是在用水作為循環(huán)液體，在水設備的過程溫度為10℃下得出的。不同的水設備溫度會導致不同的冷卻能力。規(guī)格如有變更，恕不另行通知。
4 在不同國家和地區(qū)使用時，應選擇合適頻率和電壓。
5 上述參數(shù)是在海平面高度用水作為循環(huán)液體，在過程設定點為20℃，環(huán)境條件為+20℃及標稱工作電壓下得出的。其他液體、流程溫度、環(huán)境溫度、海拔高度或工作電壓都會影響性能。
產(chǎn)品特色
? 根據(jù)具體用途，設計的溫度控制解決方案 ? 專業(yè)溫度穩(wěn)定技術(shù)：可達+/- 0.001 ℃
? 使用不銹鋼材料，減少腐蝕 ? 波動低
? 噪音低 ? 擁有使用 HFE（氟化）特殊流體的經(jīng)驗
? 符合半導體合規(guī)性，包括： ? SEMI S2/S8/S14/F47
? CSA/UL ? CE
? RoHS ? WEEE
為您的投資保駕護航
您的進程取決于具有穩(wěn)定可靠，始終如一性能的產(chǎn)品。從啟動和檢查到完整的清潔維護，我們提供完整的服務解決方案來滿足您的需求，由工廠進行修理和維護。
Thermo Fisher 的溫控產(chǎn)品遍布
我們擁有服務網(wǎng)絡，我們的直屬和服務專業(yè)人才遍布世界，為客戶提供支持：
? 地區(qū)呼叫中心
? 地區(qū)服務中心
? 地區(qū)經(jīng)銷商網(wǎng)絡
Thermo Fisher 支持的產(chǎn)品包括：
? Steelhead ? Endura SYS III ? DIMax、DIMax II
? HTD ? ThermoChill 系統(tǒng) ? MX500/900
? HX 150/300 ? CFT ? ThermoFlex
? SWX ? 所有Neslab 品牌
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