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SONIC超聲波微液體流量計(jì)μLF-300S

時(shí)間：2025/4/15閱讀：199
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SONIC超聲波微液體流量計(jì)μLF-300S

微量液體流量計(jì)μLF-300S.png


用于IPA、純水、藥液等半導(dǎo)體制造工序中微小區(qū)域的流量控制


測(cè)量1ml/min以上的微小流量利用數(shù)字信號(hào)處理高精度測(cè)量微小流量

-傳感器部的結(jié)構(gòu)不與流體接觸范圍廣


μLF-300S

模型μLF-300S + μLT-8I（1/8 英寸）或 μLF-300S + μLT-4I（1/4 英寸）
測(cè)量原理超聲波傳播時(shí)間差法
待測(cè)液體純水、水溶液、各種化學(xué)溶液
* 使用水以外的液體時(shí)，請(qǐng)事先確認(rèn)。
適用流體溫度范圍15℃～80℃
*60℃以上使用請(qǐng)?zhí)崆按_認(rèn)
流體壓力0.5MPa以下
流體運(yùn)動(dòng)粘度100mm^2/秒或更小
流量范圍0 毫升/分鐘 ~ 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I)
0 毫升/分鐘 ~ 1000 毫升/分鐘 (μLF-300S + μLT-8I)
測(cè)量精度±0.5%RD（1/8英寸：200～1000ml/min 條件：室溫、恒溫水）
±1ml/min（1/8英寸：0～199ml/min）
±0.5%RD（1/4英寸： 0～199ml/min） 800～4000ml/min 條件：室溫、恒溫水）
±4ml/min（1/4英寸：0～799ml/min）
重復(fù)性±0.2%（純品，液溫±0.5℃，30秒平均值）
電源直流24V±10%
功耗3.6W以下
重量轉(zhuǎn)換器240g，檢測(cè)器70g
尺寸 寬x高x深(毫米)轉(zhuǎn)換器 97 x 49 x 127
檢測(cè)器 90 x 25 x 20（不含管）
檢測(cè)部分
管材PFA（氟樹脂）
管徑1/8 英寸外徑：3.17 毫米，內(nèi)徑：2.17 毫米，1/4 英寸外徑：6.35 毫米，內(nèi)徑：4.35 毫米
結(jié)構(gòu)相當(dāng)于IP65
附帶電纜5m，連接器連接
輸入部分
數(shù)字輸出4 線 RS-422、4 線 RS-485
模擬輸出4-20mA（瞬時(shí)流量），負(fù)載電阻500Ω以下
集成脈沖輸出1ch（集電極開路）
報(bào)警輸出1ch（集電極開路）
接點(diǎn)輸入1ch（零流量設(shè)置或積分清除）
按鍵輸入4個(gè)輸入按鈕




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