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它由真空泵FV-W和真空鑷子C007組成。
●無需設(shè)置單獨(dú)的泵進(jìn)行吸入和排出,而是在一個系統(tǒng)中兼用,因此可以實(shí)現(xiàn)緊湊的機(jī)身。
●由于該結(jié)構(gòu)將吸入和排出兩個回路連接到一個組合連接器(雙管),因此只需一根管子即可吸入和排出。
FLUORO吸嘴/吸盤的核心優(yōu)勢
材質(zhì)特性
氟樹脂(PTFE/PFA):超低摩擦系數(shù)、耐化學(xué)腐蝕(抗酸堿、溶劑)、防靜電,避免污染敏感材料(如晶圓)。
高純度:無析出物,適合潔凈室環(huán)境(Class 100~1000)。
精密適配
專為 超薄玻璃(0.1~1.0mm)、小尺寸晶圓(2~12英寸) 設(shè)計,吸附面平整度高,避免應(yīng)力集中導(dǎo)致破裂。
可選 多孔設(shè)計 或 獨(dú)立氣路,均勻分散吸附力,減少局部壓力。
定制化選項(xiàng)
形狀:圓形、方形、條形等,適配不同設(shè)備(如貼片機(jī)、檢測儀)。
尺寸:吸嘴直徑可小至幾毫米,滿足微米級精度需求。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造:晶圓(Wafer)搬運(yùn)、切割后的芯片分選。
顯示面板:LCD/OLED玻璃基板、Cover Glass的真空吸附。
精密電子:攝像頭模組、光學(xué)鏡片、陶瓷基板的無痕抓取。
選型建議
接觸面材質(zhì):
若需更高防粘性,可選 PFA涂層;若強(qiáng)調(diào)耐磨性,可用 填充碳纖維的PTFE。
真空系統(tǒng)匹配:
需根據(jù)工件重量和吸附面積計算真空度(通常-50~-90kPa)。
環(huán)境要求:
高溫環(huán)境需確認(rèn)耐溫范圍(標(biāo)準(zhǔn)PTFE耐約260℃)。
注意事項(xiàng)
避免尖銳物體劃傷吸盤表面,定期清潔以維持吸附力。