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EX-550CKOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
| 參考價: | ￥ 8200 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- EX-550C 產(chǎn)品型號
- KOFLOC/科賦樂 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：10更新時間：2025-05-21 09:17:05
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 5千-1萬 | 介質(zhì)分類 | 氣體&液體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
KOFLOC科賦樂是日本流量控制設(shè)備制造商，成立于1958年，專注于質(zhì)量流量計（MFM）、質(zhì)量流量控制器（MFC）和精密閥門的研發(fā)生產(chǎn)，產(chǎn)品以高精度、低壓損、長壽命著稱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療和化工等領(lǐng)域。
產(chǎn)品介紹
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
KOFLOC科賦樂 質(zhì)量流量計
它是一款全金屬MFC，配備高速繞線傳感器，具有出色的內(nèi)部開發(fā)穩(wěn)定性。
SEMI兼容106mm（可選擇124mm）表面，RS485通信是標準配置。
高精度腐蝕性氣體兼容產(chǎn)品，1.0％SP。
金屬密封結(jié)構(gòu)高速應(yīng)答及出色的零點穩(wěn)定性0-5V或4-20mA輸入/輸出信號，電源可從±15 V或24 V單電源選擇□電源連接器采用通用性較高的D-sub9針連接器通過切換旋轉(zhuǎn)開關(guān)，可以使用主機中登記的氣體類型。
※流量是與N2氣體的比率計算出的值
標準配備通訊功能（RS485）
符合RoHS•CE標準
技術(shù)優(yōu)勢
熱式技術(shù)（氣體）：
基于熱擴散原理，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補償）。
低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。
壓差式技術(shù)（液體）：
通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號。
耐腐蝕設(shè)計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。
智能功能：
數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造
案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時間＜1秒。
配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。
光伏產(chǎn)業(yè)
案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。
挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。
方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能。
化工流程
案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。
材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 形式 | 質(zhì)量流量控制器 EX-250SC | 質(zhì)量流量計 EX-250SM | |
|---|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 閥門方式 | 比例螺線管閥門（未通電時關(guān)閉） | – | |
| 目標氣體（* 1） | N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未列出的氣體換算成N2） | ||
| 流量范圍（* 2） | 10 SCCM~5 SLM | ||
| 控制范圍（測量范圍） | 2~100％（F.S.） | ||
| 響應(yīng)速度 | 總流量控制范圍在1sec內(nèi)（within±2%F.S.） | ||
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | – | ||
| 精度（* 3） | ±1.0%F.S. | ||
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S. | ||
| 工作壓差（* 4） | 50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa） | – | |
| 最大入口壓力 | 500kPa（G） | ||
| 耐壓 | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 5） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 | ||
| 溫度 | 允許周圍溫度 | 5～50℃ | |
| 精度保證溫度 | 15～35℃ | ||
| 允許儲存溫度 | -10～60℃ | ||
| 允許環(huán)境濕度 | 10～90%RH （無結(jié)露） | ||
| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼（* 6），PTFE，F(xiàn)KM | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） HR-10A | ||
| 流量設(shè)定輸入信號 | 0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ） Or 4~20mA（輸入電阻約250Ω） | – | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（負載電阻10kΩ以上） or 4~20mA（負載電阻500Ω以下） | ||
| 數(shù)字通信 | 通過RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址 | ||
| 所需電源（DC） | +15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下 or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都為100mA以下） | ||
| 接頭（* 7） | 1/4F900（標準） | ||
| 安裝姿勢 | 推薦水平方向 | ||
| 重量（* 8） | 約500g | 約440g | |
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