KOFLOC 科賦樂 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量計(jì)  3760系列

KOFLOC 科賦樂 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量計(jì)  3760系列

MODEL 3760系列是基于MODEL 3660系列開發(fā)的緊湊型低成本質(zhì)量流量計(jì)。
它是作為大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)研發(fā)應(yīng)用的各種分析儀器和真空設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)模型而開發(fā)的。

• 配備流量傳感器，采用改進(jìn)的恒流溫差檢測(cè)方法，實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)

• 我們不選擇緊湊的身體設(shè)置的地方

• 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

• 模型	3760	3765
  流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）	10SCCM~20SLM（可選）	30SLM~100SLM（可選）
  傳感器方式	熱繞組傳感器
  響應(yīng)速度	在2秒內(nèi)	在3秒內(nèi)
  準(zhǔn)確性	±1.0％FS（25°C）	±1.5％FS（25°C）
  溫度系數(shù)	±0.1％FS /°C（15~35°C）	±0.2％FS /°C（15~35°C）
  再現(xiàn)性	±0.5％F.S.（20°C）
  耐壓	980kPa（G）
  He泄漏率（* 1）	1 x 10-8 Pa.m3/s以下
  允許周圍溫度	5~45℃
  允許環(huán)境濕度	10~90%RH（無結(jié)露）
  氣體接觸材料	車身SUS316L
  	密封材料FKM（選件CR或NBR）
  電氣連接	Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）
  流量輸出信號(hào)	0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上）
  所需電源	+15 VDC（±5％）100 mA, -15 VDC（±5％）100 mA
  接頭 （體型）	標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項(xiàng)1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等	標(biāo)準(zhǔn)3 / 8F 900（9 / 16.18 UNF） 選項(xiàng)1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等
  重量	約800g	約1000g