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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	產(chǎn)品種類	質(zhì)量式
價格區(qū)間	面議	介質(zhì)分類	氣體
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件	控制范圍	10 SCCM 至 1000 SLM多種量程可選
通信模式和電源	多種可選	精度	+/- 1.0%
響應(yīng)時間	1s	功能	多氣體/多量程

HORIBA SEC-N100 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品概述

　　SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、薄膜沉積、分析儀器、光電子、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。該系列支持多種通信協(xié)議，具有較高的精度、快速響應(yīng)能力和強(qiáng)大的多氣體、多量程適應(yīng)能力，是新一代工藝控制系統(tǒng)的理想選擇。

產(chǎn)品特點(diǎn)

支持多種通信方式

數(shù)字/模擬通信
DeviceNet™
CC-Link™
PROFIBUS™
EtherCAT®

高精度流量控制

控制精度達(dá) ±1.0% of Set Point (*1)
重復(fù)性好，穩(wěn)定性高

快速響應(yīng)性能

響應(yīng)時間：≤1秒（T98）
可變 PID 控制算法，確保不同氣體/不同流量下的穩(wěn)定輸出

多氣體/多量程功能

支持用戶自定義更換氣體類型和滿量程（Full Scale）設(shè)定
降低庫存成本，提高設(shè)備通用性和靈活性

高可靠性設(shè)計

無運(yùn)動部件結(jié)構(gòu)，可靠性更高，適合長期穩(wěn)定運(yùn)行
緊湊型設(shè)計，適配多種系統(tǒng)集成環(huán)境

技術(shù)規(guī)格

規(guī)格	選擇通信模式	選擇電源
SEC-N112MG SEC-N122MG SEC-N132MG SEC-N142MG SEC-N172R	數(shù)字通信 ?RS485 F-NET協(xié)議模擬通信 ?0?5VDC	±15VDC（±5%） HORIBA的陣容包括租賃電源PE系列。
SEC-N114MG SEC-N124MG SEC-N134MG SEC-N144MG SEC-N174R	DeviceNet™通信	符合ODVA標(biāo)準(zhǔn)
SEC-N115MG SEC-N125MG SEC-N135MG SEC-N145MG SEC-N175R	CC-Link®通信模擬通信 ?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA	符合CC-Link®標(biāo)準(zhǔn)24VDC（13至32VDC）
SEC-N116MG SEC-N126MG SEC-N136MG SEC-N146MG SEC-N176R	PROFIBUS™通信模擬通信 ?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA	符合PROFIBUS™標(biāo)準(zhǔn)24VDC（13至32VDC）
SEC-N117MG SEC-N127MG SEC-N177R	EtherCAT®通信	符合EtherCAT®標(biāo)準(zhǔn)24VDC