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合肥重光電子科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第1年

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針筒式滴膠旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)

參   考   價(jià): 1

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)MSC-200T-D

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地合肥市

更新時(shí)間:2025-03-22 17:09:26瀏覽次數(shù):56次

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MSC-200T-D桌上型半自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)用于對(duì)均勻性和一致性要求較高的表面涂布工藝,將光刻膠溶液自動(dòng)涂覆在硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵、鈮酸鋰、光柵、ITO、掩模版等基片上形成薄膜,主要應(yīng)用于6、8寸晶圓及方形樣品。將基材涂上一層特定的光刻膠、感光涂料或油墨, 取出后在進(jìn)行后道烘干工藝。


應(yīng)用程序:

人工放置基板->啟動(dòng)真空吸附->基板吸附于轉(zhuǎn)盤上 ->自動(dòng)滴膠->旋轉(zhuǎn)開啟->低轉(zhuǎn)速->中 轉(zhuǎn)速->高轉(zhuǎn)速->旋轉(zhuǎn)停止->去邊->破真空->人工取件。


產(chǎn)品特點(diǎn):

針筒式滴膠方式更適合科研和小批量生產(chǎn),不用清洗管道;

整機(jī)用料扎實(shí)、750W進(jìn)口伺服電機(jī)、適合更大更重樣品;

吸盤平整度精細(xì)加工平磨,均勻性好,可達(dá)1%以內(nèi);

電氣獨(dú)立集成機(jī)身側(cè)面,避免因腔體漏液到設(shè)備內(nèi)部導(dǎo)致短路風(fēng)險(xiǎn);

配置光膠過濾器,清洗保養(yǎng)方便,避免堵膠帶來飛片風(fēng)險(xiǎn);

真空負(fù)壓數(shù)值顯示和低真空?qǐng)?bào)警,避免因負(fù)壓不足帶來飛片風(fēng)險(xiǎn);


安全措施:

功能

規(guī)格

真空檢知

面版上有數(shù)位顯示計(jì),低壓報(bào)警

蓋子檢測(cè)

運(yùn)行中開蓋報(bào)警

防吸入光阻裝置

加裝于真空PUMP之前,預(yù)防光阻液吸入需定期清潔保養(yǎng)

電控箱

位置放在側(cè)面,防止漏液帶來短路風(fēng)險(xiǎn)




產(chǎn)品參數(shù):


桌上型半自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)

供電電壓

AC220V,50Hz

操作方式

7寸觸控屏

轉(zhuǎn)速

20~10000rpm

滴膠方式

手動(dòng)滴膠/自動(dòng)

加速度

350~10000rpm/s

編程

可編程50組20步

減速度

350~10000rpm/s

均勻性

1%

轉(zhuǎn)速分辨率

1rpm

抽氣接口

Φ6mm快擰接口

單步時(shí)間

3000s

整機(jī)尺寸

650mm×500mm×550mm

基片尺寸

直徑≤8英寸(200mm)

整機(jī)重量

55kg

腔體材質(zhì)

PTFE

光刻膠容器

膠泵、壓力罐、美式針筒

滴膠管路

≤3路(背洗、去邊可選)

核心配件品牌

SMC、CKD、松下、西門子、小金井等

排氣系統(tǒng)

真空泵

干式機(jī)械泵


抽氣速率

50L/min


供電電源

AC220V 50/60Hz




可提供12寸晶圓(均勻性<2%)、方片、膠泵滴膠、壓力罐滴膠等多種滴膠方式,以滿足不同產(chǎn)量要求,更多需求可咨詢。

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