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當前位置：> 供求商機> MSC-150T-桌上型旋轉涂布機
MSC-150T可編程旋轉涂布機，采用分體式結構設計，7英寸觸摸屏，工業(yè)級直流電機及高級PLC控制，直觀清晰的程序界面與設計，美觀大方。適合涂膠處理? 10~150mm圓晶尺寸基片。該旋轉涂布機結構緊湊、簡單易用，可編程實現(xiàn)單步旋涂和多步編程旋涂。旋涂內腔可直接取下來，方便清洗。
產品參數(shù)：
適用晶元尺寸范圍：?10~150mm；
旋涂速度：100~10000rpm；
轉速分辨率：1rpm；
旋涂加速度：100-10000rpm/s；
最大旋涂時間：3000s；
旋涂時間精度：0.1s；
可存儲多種不同基片的旋轉涂敷工藝參數(shù)。每個涂敷工藝流程可以設置多步不同的旋轉速度
產品外型尺寸：300mm(W)x 380mm(D) x 260mm(H)
腔體尺寸：?220mm
重量：10KG
電壓：220V/50HZ
配置：標配吸盤一組（10、25、50、100）mm、無油真空泵一臺
產品特點：
旋涂內腔為耐酸堿材料PTFE，
采用分體式結構，易清潔和移動；
7英寸彩色觸屏控制，易學易用；
精確設置實驗參數(shù)，運行狀態(tài)實時顯示；
采用高級PLC程序控制，可編程，實現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂；
具有電機進膠保護功能；管路易疏通設計；
更多需求可咨詢，提供分體式、嵌入式等定制
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