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EV-S20EBARA荏原 干式真空泵
| 參考價(jià): | ￥ 9600 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- EV-S20 產(chǎn)品型號
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：69更新時(shí)間：2025-03-21 15:33:32
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產(chǎn)品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。
產(chǎn)品介紹
EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20
EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20
干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比，因此在半導(dǎo)體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。
工作原理
干式真空泵通過機(jī)械運(yùn)動(dòng)直接抽除氣體，無需液體密封或潤滑。其工作原理主要依賴于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機(jī)械結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)，將氣體從進(jìn)氣口吸入并壓縮，最終從排氣口排出。常見的干式真空泵類型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，干式真空泵用于晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻等工藝，確保高潔凈度的真空環(huán)境。
制藥行業(yè)：用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環(huán)節(jié)，避免油污染對藥品質(zhì)量的影響。
食品加工：在食品包裝和脫氣過程中，干式真空泵確保食品的安全和衛(wèi)生。
科研領(lǐng)域：用于實(shí)驗(yàn)室的高真空實(shí)驗(yàn)，提供無污染的真空環(huán)境。
技術(shù)發(fā)展趨勢
隨著工業(yè)技術(shù)的進(jìn)步，干式真空泵正朝著更高效率、更低噪音和更智能化的方向發(fā)展。例如，采用變頻技術(shù)優(yōu)化能耗，通過智能監(jiān)控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制和故障診斷。此外，新材料的應(yīng)用也進(jìn)一步提升了干式真空泵的耐腐蝕性和使用壽命。
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