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MM-3102LLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價: | ￥ 25310 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- MM-3102L 產(chǎn)品型號
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：82更新時間：2025-03-26 17:08:23
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3102L
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3102L
質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器，由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設(shè)定的流量信號，反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度，以此進行流量的控制。
典型應(yīng)用場景
1. 半導(dǎo)體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應(yīng)（動態(tài)響應(yīng)<50ms）
3. 制藥行業(yè)：
生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)（O?/CO?/N?三聯(lián)控）
4. 科研實驗：
催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）
質(zhì)譜儀載氣調(diào)節(jié)（0.1-10mL/min微流量）
環(huán)境模擬實驗（溫濕度聯(lián)動控制）
| 溫度 | 最下壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最小F.S. | 密封件 |
| 5～50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 400SLM | Au |
技術(shù)發(fā)展趨勢
智能化升級：
集成AI預(yù)測性維護功能
5G遠程監(jiān)控與參數(shù)優(yōu)化
微型化發(fā)展：
MEMS流量傳感器（芯片級集成）
適用于便攜式分析儀器
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