聯(lián)系電話
高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
中級會員·1年
ED-3000MIKASA米卡薩 顯影和蝕刻設(shè)備
| 參考價: | ￥ 13000 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- ED-3000 產(chǎn)品型號
- MIKASA/米卡薩 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：34更新時間：2025-05-27 16:55:32
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
- 聯(lián)系人：
- 李科霖
- 電話：
- 86-028-87319898
- 手機(jī)：
- 19382020649
- 傳真：
- 86-028-85068959
- 地址：
- 四川省成都市高新區(qū)天府大道中段500-1號天祥廣場C座4527室
- 個性化：
- www.cosimoinc.com.cn
掃一掃訪問手機(jī)商鋪
產(chǎn)品簡介
顯影和蝕刻設(shè)備是半導(dǎo)體制造和微電子加工中的核心工藝裝備，主要用于圖形轉(zhuǎn)移和微納結(jié)構(gòu)加工。
產(chǎn)品介紹
MIKASA米卡薩 顯影和蝕刻設(shè)備 ED-3000
MIKASA米卡薩 顯影和蝕刻設(shè)備 ED-3000
顯影和蝕刻設(shè)備是半導(dǎo)體制造和微電子加工中的核心工藝裝備，主要用于圖形轉(zhuǎn)移和微納結(jié)構(gòu)加工。顯影設(shè)備通過化學(xué)溶液去除曝光后的光刻膠可溶部分，形成所需圖案；蝕刻設(shè)備則通過物理或化學(xué)方法去除未被光刻膠保護(hù)的基底材料，實現(xiàn)圖形轉(zhuǎn)移。
主要設(shè)備類型：
顯影設(shè)備：
噴淋式顯影機(jī)
浸漬式顯影機(jī)
超聲波輔助顯影機(jī)
蝕刻設(shè)備：
濕法蝕刻設(shè)備（化學(xué)溶液）
干法蝕刻設(shè)備（等離子體）
反應(yīng)離子蝕刻（RIE）
深硅蝕刻（DRIE）
設(shè)備特點
高精度加工能力：
可實現(xiàn)納米級圖形轉(zhuǎn)移（<10nm）
各向異性蝕刻控制（側(cè)壁角度可調(diào)）
高深寬比加工（最高可達(dá)50:1）
先進(jìn)工藝控制：
精確的溫度控制系統(tǒng)（±0.1℃）
實時終點檢測技術(shù)
多參數(shù)閉環(huán)控制
材料兼容性廣：
硅、化合物半導(dǎo)體、金屬等多種材料
有機(jī)/無機(jī)介質(zhì)材料
新型二維材料
智能化系統(tǒng)：
自動配方管理
故障自診斷
遠(yuǎn)程監(jiān)控
環(huán)保設(shè)計：
廢氣處理系統(tǒng)
廢液回收裝置
低耗材設(shè)計
顯影和蝕刻設(shè)備作為微納制造的關(guān)鍵裝備，其技術(shù)水平直接決定了集成電路和微器件的性能與可靠性。隨著半導(dǎo)體技術(shù)節(jié)點的不斷推進(jìn)和新興應(yīng)用的涌現(xiàn)，新一代設(shè)備正向著更高精度、更高效率、更智能環(huán)保的方向發(fā)展。未來，這些設(shè)備將繼續(xù)在推動信息技術(shù)進(jìn)步、賦能新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展方面發(fā)揮不可替代的作用。
室 | 聚氯乙烯 | 轉(zhuǎn)速 | 0~3,000轉(zhuǎn)/分 |
基板尺寸 | φ1“ ~ φ12" （220×220mm） | 聯(lián) 鎖 | 真空吸附確認(rèn)傳感器 加工腔蓋聯(lián)鎖 噴嘴移動超限 限制器 |
化學(xué)泵送 | 加壓罐壓力泵 | ||
化學(xué)品排放 | 噴霧排放 （擺動噴嘴型） | 權(quán)力 | AC200V 三相 15A |
| 尺寸 （mm） 當(dāng)門打開時 | 720W×500H×520D 910H | ||
步數(shù) | 48 步 跳拷貝功能 | ||
| 程序模式 | 10 模式 | 重量 | 60 公斤 |
| 工藝（標(biāo)準(zhǔn)） | 蝕刻液：1 個系統(tǒng)（2 個噴嘴） 沖洗：1 個系統(tǒng)（2 個噴嘴） 反 沖洗：1 個 | 關(guān)鍵選項 | 化學(xué)溫度管理系統(tǒng) （加壓法） 各種基板支架 安裝工作臺 |
相關(guān)產(chǎn)品
