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FAAS 8000 ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術結合離子色譜分析方法，實現(xiàn)了多點采樣、氣體自動吸收富集、在線質量控制等全自動在線監(jiān)測功能，解決了潔凈室AMC監(jiān)測過程中人員投入大、數(shù)據監(jiān)測頻率低、數(shù)據反饋不及時等問題；可應用于半導體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物（AMC）中酸性物質（MA）、堿性物質(MB)污染物的在線監(jiān)測。

FAAS 8000 ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)性能優(yōu)勢

數(shù)據可靠

系統(tǒng)實現(xiàn)了自動遠距離采樣、自動富集吸收、自動質量控制、自動分析、數(shù)據自動上傳全流程自動化。

避免人工誤差引入，數(shù)據準確可靠。

靈敏度高

大體積進樣濃縮，大幅提高系統(tǒng)檢測能力，檢出限可達亞ppt級，縮短系統(tǒng)運行周期。

FAAS 8000ICS 測試部分陰陽離子的檢出限

監(jiān)測面廣

單套系統(tǒng)最多可配置32個點位的樣品采集；

系統(tǒng)通過真空泵遠距離采樣，可覆蓋300m范圍內樣品的在線監(jiān)測。

設計合規(guī)

系統(tǒng)管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設計，滿足SEMI F57中相關析出雜質的控制要求。

吸收高效

在線雙吸收模塊設計，有利于節(jié)約樣品分析時間，數(shù)據輸出更快更高效！

應用領域

FAAS 8000ICS 在線陰陽離子監(jiān)測系統(tǒng)主要應用于潔凈室環(huán)境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監(jiān)測，可擴展至大氣中離子污染物的檢測。