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這款光伏太陽能光譜橢偏儀是專業(yè)為光伏太陽能領(lǐng)域的薄膜測量而開的手動光伏橢偏儀，這款光伏太陽能光譜橢偏儀為光伏薄膜測量研究提供便利，具有實時測量薄膜厚度和薄膜厚度繪圖的*功能。它采用手動改變測角計的入射角，數(shù)秒中給出結(jié)果。
具有250-1100nm的波長范圍，覆蓋從深紫外到可見光再到近紅外的光譜范圍.深紫外波長非常適合測量硅晶圓的薄膜厚度，典型值在2nm左右。
橢圓偏振技術(shù)是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術(shù)。
與反射計或反射光譜技術(shù)不同的是，光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變?nèi)肷浣谴笮?，可獲得許多組數(shù)據(jù)，這樣就非常有助于優(yōu)化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠遠大于固定角橢偏儀。
光伏太陽能光譜橢偏儀特色
易于安裝，拆卸和維護
良好的光學設計
自動改變?nèi)肷浣?，入射角分辨率高達0.01度
高功率250-1100nm光源適合多種應用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫
提供工程師模式，服務模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設置和光學模型測量
一鍵快速測量
全自動標定和初始化
精密樣品準直界面直接樣品準直，不需要額外光學
精密高度和傾斜調(diào)整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出
光伏太陽能光譜橢偏儀參數(shù)
波長范圍：250-1100nm
波長分辨率：1nm
測量點大?。?-5mm可調(diào)
入射角：0-90度可調(diào)
入射角分辨率：5度
可測樣品大小：高達160x160mm
可測樣品厚度：高達20mm
測量薄膜厚度：0nm ---20um
測量時間：~1s/點
精度：~0.25%
重復精度：<1A


光伏太陽能光譜橢偏儀可選配件
反射或透射光度測量配件
微點測量小面積
X-Y位移臺用于厚度繪圖
加熱臺/制冷臺用于薄膜動力學研究
垂直樣品安裝測角計
波長拓寬到IR范圍
掃描單色儀配置