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無氦低溫探針臺CPS-CF是為極低溫探針測試設(shè)計(jì)的閉循環(huán)低溫探針臺系統(tǒng),適合低溫下對器件和電路進(jìn)行探針測試。
無氦低溫探針臺CPS-CF內(nèi)置隔振、智能熱管理和熱膨脹補(bǔ)償機(jī)制,使該探針臺具有廣泛的應(yīng)用能力，從納米電子學(xué)（石墨烯研究、分子電子學(xué)等）到太空電子學(xué)都可使用。
該無氦低溫探針臺CPS-CF采用閉式循環(huán)制冷器和專有的熱管理系統(tǒng)便宜快捷的操作。內(nèi)置隔振器可將振動降至行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)水平。超穩(wěn)定的微操作臺保證了精確和可重復(fù)的接觸的設(shè)備探頭裝置功能。廣泛選擇的探針和晶圓卡盤滿足從超精密到射頻測量的諸多應(yīng)用。
無氦低溫探針臺CPS-CF特點(diǎn)

性價比高，穩(wěn)定可靠，使用方便。

低溫晶圓尺寸測試和低溫半導(dǎo)體測試。

溫度范圍從4K到480K（0.1K或更高精度）。如果配備不同的CCR，則可提供不同的范圍。

閉式循環(huán)制冷器，無制冷劑運(yùn)行，經(jīng)濟(jì)高效。

適合經(jīng)營直徑達(dá)1英寸、2英寸、4英寸、6英寸或8英寸晶圓的低溫設(shè)備特性（取決于型號）。

直流到67GHz以上的測量采用單CCR解決方案，110GHz以上的測試采用雙CCR解決方案。

4個微操作探針臂（可選配置中最多8個），具有高度精確的XYZ和可選的θ (用于RF和楔形直流探頭）調(diào)整。

熱錨定探針頭。

可選的一級冷卻輻射快門和一級冷卻藍(lán)寶石視窗。

溫控輻射屏蔽

清晰的頂部視窗（可選擇高純度石英）。

高頻振動阻尼

無氦低溫探針臺CPS-CF可選項(xiàng)

樣品尺寸：不超過25mm、50mm、100mm、150mm或200mm。

無制冷劑閉式循環(huán)制冷器，包括冷頭、壓縮機(jī)、冷卻器和所需的氦軟管。

溫度范圍：標(biāo)準(zhǔn)10K至400K，可選4.2K至480K。

溫度精度：0.1K或更高。

熱錨定探針臂和輻射屏蔽。

溫控樣品卡盤。

卡盤和探針臂的溫度監(jiān)控。輻射屏蔽和冷凍頭的溫度監(jiān)測是可選的。

真空基準(zhǔn)壓力（當(dāng)CCR關(guān)閉時）1.0x10-5托標(biāo)準(zhǔn)，可選擇降至10-6托以下（當(dāng)CCR打開時，可實(shí)現(xiàn)壓力降至10-8托以下）。也提供超高壓版本。

窗口材料：熔融石英，定制材料和涂層可供選擇。

顯微鏡：有多種選擇。

相機(jī)：100萬到1000萬像素的數(shù)碼相機(jī)。用于圖像和視頻捕獲的軟件，以及相機(jī)附帶的尺寸測量功能。