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這款半自動探針臺廣泛用作電動分析探針臺和半自動晶圓探針臺,可測試200mm晶圓,采用重型多功能探針臺平臺制造,配置靈活多樣,具有加熱制冷晶圓夾盤chuck,體式顯微鏡,RF屏蔽箱等諸多配件可選擇,適合半導(dǎo)體器件探針臺測試和晶圓探針臺測試等多種應(yīng)用。
半自動探針臺特色

電動XY樣品夾盤,步進(jìn)電機高精度控制,電控Z軸運動，可選配Theta角控制選項

適合低于0℃的測試應(yīng)用或者屏蔽RF的應(yīng)用

電動樣品臺，行程范圍200mm x 200mm

加載或卸載晶圓非常方便

精密電控XYZ樣品位移臺和電控臺板

可升級到半自動探針控制功能（選配）

光滑的磁鐵臺板可支撐高達(dá)10個磁性或真空定位器

高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, LED照明,放大倍數(shù)3.5X~180X

適合連接微定位器,可定制BNC,Triax, DCpin 或RF鏈接接頭

標(biāo)準(zhǔn)的XYZ三維位移臺顯微鏡

可提供RF探針,RF卡盤,RF隔離箱等附件

半自動探針臺規(guī)格參數(shù)

適合晶圓大?。?00mm

電動XY位移臺： 行程范圍200mm x 200mm， 分辨率1.5um

電動Z軸臺：  行程12.5mm 或25mm可選， 分辨率高達(dá)400nm

Theta臺： 電控或手動控制可選， 分辨率可達(dá)0.01度

臺板：固定

臺板平面度：<+/-12.7um @150mm長度

臺板剛度：<50um @4.5kg

樣品夾盤規(guī)格

真空：多區(qū)真空

平面度：+/-13um

(可根據(jù)客戶應(yīng)用要求，提供各種樣品夾盤）

顯微鏡：高質(zhì)量體式放大顯微鏡,工作距離高達(dá)200mm, 放大倍數(shù)范圍3.5X~180X

電學(xué)接頭：BNC, Triax, RF, Banana插頭

安裝要求：真空度<600Torr, CDA:60psi(僅適用于啟動XY升級位移臺）

整體尺寸: W78cm xD80cm x H58cm

凈重：85kg ~95kg (根據(jù)所選不同配件）