目錄:孚光精儀（中國(guó)）有限公司>>光學(xué)測(cè)量系列>>晶圓測(cè)試儀器>> FPULT-UH132晶圓擴(kuò)片機(jī)
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更新時(shí)間：2024-08-22 11:30:05瀏覽次數(shù)：379評(píng)價(jià)
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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,電氣,綜合 |
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晶圓擴(kuò)片機(jī) UH132 Die Matrix Expanders是Ultron Systems電機(jī)驅(qū)動(dòng)晶圓die擴(kuò)膜擴(kuò)展器,專業(yè)為晶片擴(kuò)展和die晶粒展示而設(shè)計(jì)。
晶圓擴(kuò)片機(jī)UH132同級(jí)芯片晶粒die繼續(xù)提供對(duì)die分離工藝參數(shù)的精確控制，但現(xiàn)在采用了帶有數(shù)字速度控制的新電機(jī)驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì)，通過在整個(gè)驅(qū)動(dòng)行程中產(chǎn)生線性和均勻膨脹，可提供更高的晶片擴(kuò)展精度。
晶圓擴(kuò)片機(jī)UH132系列的一個(gè)新的可編程功能允許節(jié)省預(yù)熱（停留）時(shí)間和ram速度，提供全面控制和最大精度，以獲得一致、可重復(fù)的結(jié)果。
晶圓擴(kuò)片機(jī)UH132特征：
-可容納多達(dá)8英寸（200mm）的晶片/膜架（UH132型）和12英寸（300mm）的晶圓/膜架
-電機(jī)驅(qū)動(dòng)柱塞，帶數(shù)字速度控制和2.8“可調(diào)沖程（柱塞高度）
-電動(dòng)圓形切割機(jī)組件（UH132-12型標(biāo)準(zhǔn)；UH132型選件）
-帶熱敏電阻的數(shù)字溫控加熱臺(tái)
-可調(diào)行程限位器，實(shí)現(xiàn)一致的膨脹重復(fù)性
-精確控制模具分離距離，實(shí)現(xiàn)一致的重復(fù)性
-通過10圈千分表精確調(diào)整高度（一對(duì)一比率）
-最多9個(gè)程序可調(diào)節(jié)預(yù)熱時(shí)間（最多99秒）和ram速度（18速設(shè)置）
-安全過壓傳感器和用于柱塞止動(dòng)的滑動(dòng)離合器
-急停按鈕
-有機(jī)玻璃護(hù)罩，防靜電
-上下夾具總成
-下夾（外夾環(huán)）總成和上夾（內(nèi)夾環(huán)）組件可以單獨(dú)鉸接，以允許使用更大的夾環(huán)（UH132-12）
-定位銷提供了簡(jiǎn)單而精確的膜架放置
-減少校準(zhǔn)時(shí)間并提高自動(dòng)化過程的產(chǎn)量
-幾乎消除了運(yùn)算符變量
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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