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目錄:孚光精儀(中國(guó))有限公司>>半導(dǎo)體微電子設(shè)備>>勻膠儀>> FPSPS-SPIN200i進(jìn)口甩膠機(jī)

進(jìn)口甩膠機(jī)
  • 進(jìn)口甩膠機(jī)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) FPSPS-SPIN200i
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 所在地 上海市
屬性

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更新時(shí)間:2024-08-21 16:17:13瀏覽次數(shù):735評(píng)價(jià)

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進(jìn)口甩膠機(jī)SPIN200i是200mm單片甩膠機(jī)SPIN COATER,專為MEMS、半導(dǎo)體、光伏、微流體等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì),適用于所有典型的旋涂工藝:清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻。

進(jìn)口甩膠機(jī)SPIN200i是200mm單片甩膠機(jī)SPIN COATER,專為MEMS、半導(dǎo)體、光伏、微流體等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì),適用于所有典型的旋涂工藝:清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻。
進(jìn)口甩膠機(jī)SPIN200i適用于處理小至5mm、高達(dá)200?(或8")或6“x 6"基板的晶圓??刹鹦队|摸面板。
進(jìn)口甩膠機(jī)SPIN200i特點(diǎn)
工藝種類齊全,包括旋涂和浸置式顯影
結(jié)構(gòu)緊湊,方便實(shí)驗(yàn)室防置
大屏幕彩色觸摸屏
專為各種光刻化學(xué)光刻膠設(shè)計(jì)
進(jìn)口小型旋涂機(jī)SPIN150i規(guī)格參數(shù)
程序數(shù):無(wú)限制
程序的步進(jìn)數(shù):無(wú)限制
旋涂速度:1-12000rpm (+/-1rpm步)
旋涂速度精度:± 0.1 rpm
旋涂旋轉(zhuǎn)方向:順時(shí)針,逆時(shí)針,puddle浸置式
最大加速度:30000rpm/s
旋涂時(shí)間:無(wú)限制
外殼材質(zhì):NPP
旋涂室材質(zhì):NPP
外部鏈接:1個(gè)USB接口連接控制器
最大襯底直徑:260mm圓形或6''x6''方形
最大旋涂室直徑:302mm
尺寸:380 (w) x 307 (h) x 599 (d) mm
重量:20kg
供電要求:200-240VAC
最大功耗:500W
真空:- 65 kPa (-19 inchHg), ≥ 80 lpm Tube OD ?8mm  



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