目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>半導(dǎo)體微電子設(shè)備>>勻膠儀>> FPSPS-POLOS450大型旋涂?jī)x,光刻膠勻膠,甩膠
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更新時(shí)間：2022-10-05 14:16:22瀏覽次數(shù)：583評(píng)價(jià)
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大型旋涂?jī)xPOLOS450是為光刻膠勻膠甩膠應(yīng)用設(shè)計(jì)的高精度旋涂?jī)x器,適用于直徑450mm以下的基片使用。手動(dòng)化學(xué)分配,2條自動(dòng)靜態(tài)分配線,氣動(dòng)蓋打開和關(guān)閉，卡盤適配器和一個(gè)真空卡盤，最多可用于3個(gè)晶片，速度最大1500rpm，腔室最大直徑約450mm
大型旋涂?jī)xPOLOS450規(guī)格參數(shù)
桌面型號(hào)，獨(dú)立版本
適合直徑不超過450mm的襯底
手動(dòng)化學(xué)品分配，2條自動(dòng)靜態(tài)分配線
氣動(dòng)蓋打開和關(guān)閉
卡盤適配器和一個(gè)真空卡盤，最多可用于3種晶片尺寸
最高轉(zhuǎn)速1500rpm
腔室最大直徑約450mm
大型旋涂?jī)xPOLOS450是為光刻膠勻膠甩膠應(yīng)用設(shè)計(jì)的高精度旋涂?jī)x器,適用于直徑450mm以下的基片使用。手動(dòng)化學(xué)分配,2條自動(dòng)靜態(tài)分配線,氣動(dòng)蓋打開和關(guān)閉，卡盤適配器和一個(gè)真空卡盤，最多可用于3個(gè)晶片，速度最大1500rpm，腔室最大直徑約450mm
大型旋涂?jī)xPOLOS450規(guī)格參數(shù)
桌面型號(hào)，獨(dú)立版本
適合直徑不超過450mm的襯底
手動(dòng)化學(xué)品分配，2條自動(dòng)靜態(tài)分配線
氣動(dòng)蓋打開和關(guān)閉
卡盤適配器和一個(gè)真空卡盤，最多可用于3種晶片尺寸
最高轉(zhuǎn)速1500rpm
腔室最大直徑約450mm
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