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海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司

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等離子刻蝕清洗機(通用儀器)

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  • 海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司
  • 2017-05-15 13:49:51
  • 北京市
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【簡單介紹】

等離子刻蝕清洗機(通用儀器)通過等離子體與固體表面的相互作用,消除固體表面的有機污染物,固體如:金屬、陶瓷、玻璃、硅片等等,同時可以用等離子處理系統(tǒng)對樣品表面進行 處理,改善樣品表面的特性,如親水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等。

【詳細說明】

等離子刻蝕清洗機(通用儀器)

     等離子刻蝕清洗機(通用儀器)通過等離子體與固體表面的相互作用,消除固體表面的有機污染物,固體如:金屬、陶瓷、玻璃、硅片等等,同時可以用等離子處理系統(tǒng)對樣品表面進行 處理,改善樣品表面的特性,如親水/疏水特性,表面自由能,以及表面的吸附/粘附特性等等。

 

應(yīng)用領(lǐng)域:

  • 生物芯片領(lǐng)域
  • 醫(yī)用材料、光學(xué)材料研究
  • 電子半導(dǎo)體領(lǐng)域
  • 高分子材料研究
  • 電化學(xué)、零部件處理
  • 有機材料的灰化、刻蝕

儀器性能:

  • 自動調(diào)頻高頻發(fā)生器
  • 內(nèi)置旋轉(zhuǎn)真空泵
  • 低溫等離子灰化、刻蝕、清洗 (0-150 watts RF) .
  • 真空監(jiān)測.
  • 雙重氣流針閥控制
  • 精確時間定時
  • 微處理器程序設(shè)置
  • LCD狀態(tài)數(shù)字顯示
  • 抽屜式結(jié)構(gòu),樣本操作方便
  • 聚碳酸脂安全防護

 

技術(shù)參數(shù)

電鏡有機樣本的刻蝕尺寸

450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)

工作腔室

派熱克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.)
(硼硅酸鹽玻璃為標準配置)

重量

25Kg

等離子體輸出

zui大150w,13.56 MHz

真空度

>ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar

時間控制

zui長可設(shè)置99小時59分鐘

雙重氣流控制

雙重針閥氣流控制,可選1種或2種氣體(校準 5-100cm3/min air at A.T.P)

電源

230 V, 50Hz (3 amp Max)

 

    
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