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EMS500離子濺射鍍膜儀(通用儀器)

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  • 海德創(chuàng)業(yè)(北京)生物科技有限公司
  • 2017-05-17 15:45:11
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【簡單介紹】

離子濺射鍍膜儀(通用儀器)在陽極與陰極之間使用合適的氣體(常用的是氬氣)和電壓,當出現(xiàn)輝光放電時,陰極材料在氣體離子的轟擊下將侵蝕目標材料,這個過程就叫離子濺射。

【詳細說明】

離子濺射鍍膜儀(通用儀器)簡介:

什么是離子濺射鍍膜?

    在陽極與陰極之間使用合適的氣體(常用的是氬氣)和電壓,當出現(xiàn)輝光放電時,陰極材料在氣體離子的轟擊下將侵蝕目標材料,這個過程就叫離子濺射。其結果是濺射出來的原子(陰極材料)將在樣本(通常樣本固定于陽極上)表面形成一層薄膜,均勻分布在樣本的表面。

    陰極材料通常使用金,習慣稱之為金靶。

EMS550離子濺射鍍膜儀(通用儀器)

    EMS 550具有旋轉樣品臺,可傾斜,適合各種樣品。參數可預設,全自動控制保證獲得準確的鍍層厚度。 低電壓濺射、冷濺射、超細顆粒等功能的使用,大大提高了工作效率。腔室直徑為165 mm(6英寸),非常方便裝載及移走樣品。 儀器裝有60mm直徑、0.1mm厚的金靶(可選)??蛇x靶材包括金/鈀,鉑/鈀和鉑。 各種功能都集中設計在儀表板上,使用方便,滿足不同學科的用戶使用要求。 濺射參數可預設,包括氣體放氣針閥(此閥為電磁閥),一旦設置,就不需要再調節(jié)。濺射頭互鎖,系統(tǒng)可選配EMS250鍍碳附件。

    本儀器為全自動操作,可控制獨立的真空泵。

性能特征
    1、復合樣本固定器

    2、旋轉且可傾斜樣品臺

    3、全自動控制

    4、低耗冷卻系統(tǒng),無需冷卻樣本及樣品臺

    5、低壓濺射

    6、高質量鍍層厚度(2nm 金膜).

    7、可重復性能

    8、均勻沉積厚度(20nm或20埃)

    9、微電子控制

    10、聚碳酸脂安全殼體

性能參數:

    1.儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H
    2.工作腔室:硼硅酸鹽玻璃 165mm Dia x 125mm H
    3.安全鐘罩:聚碳酸酯
    4.重量:18公斤
    5.靶:60 mm 直徑 x 0.1mm 厚(金靶為標準靶面)
    6.樣品臺直徑為60 mm,靶面距在25mm-45mm之間可調
    7.真空范圍:ATM-1x10-2 mbar
    8.沉積電流范圍:0-50mA
    9.沉積速率:0-25nm/分
    10.濺射時間:0-4 分鐘
    11.預設置針閥:控制氬
    12.電源:230 伏 50Hz (10 amp max. including Pump)

定購說明:

貨號

產品名稱

規(guī)格

91000

EMS 550 Sputter Coater complete with Target

EMS550離子濺射鍍膜機

91000-MA

EMS 500 Manual Sputter Coater

EMS500離子濺射鍍膜機

91005

Rotary Vacuum Pump

Targets 60mm (Dia.) x 0.1mm (Thick) fitted inclusive as standard

注:EMS500為EMS550的的手動型號(無旋轉樣品臺),其它參數均同。

    
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