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目錄:科睿設(shè)備有限公司>>材料測試設(shè)備>> TOF-SIMS飛行時間二次離子質(zhì)譜測試設(shè)備

飛行時間二次離子質(zhì)譜測試設(shè)備
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參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 TOF-SIMS
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 產(chǎn)品資料 查看pdf文檔
  • 所在地 上海市
屬性

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更新時間:2025-02-27 16:41:33瀏覽次數(shù):7694評價

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥 原始束流或速能量 40kV, 70kVkV
質(zhì)量分辨率 > 17000 質(zhì)量分析范圍 3000Da的分子量U
飛行時間二次離子質(zhì)譜測試設(shè)備,先進的動態(tài)TOF-SIMS系統(tǒng),它使用直流主束的飛行時間分析儀,創(chuàng)建了成像質(zhì)譜的新范式。直流一次離子束的使用允許快速成像和連續(xù)數(shù)據(jù)采集(即沒有單獨的蝕刻周期),同時提供高空間和質(zhì)量分辨率。
特點:
離子束帶來高分子量分析和高空間分辨率
四種離子束可選擇
用氣體團簇離子束SIMS,可以分析高達3000Da的分子量
無“僅蝕刻"循環(huán)的深度剖面。
快速、連續(xù)采集

飛行時間二次離子質(zhì)譜測試設(shè)備

先進的動態(tài)TOF-SIMS系統(tǒng),它使用直流主束的飛行時間分析儀,創(chuàng)建了成像質(zhì)譜的新范式。直流一次離子束的使用允許快速成像和連續(xù)數(shù)據(jù)采集(即沒有單獨的蝕刻周期),同時提供高空間和質(zhì)量分辨率。

特點:

離子束帶來高分子量分析和高空間分辨率

四種離子束可選擇

用氣體團簇離子束SIMS,可以分析高達3000Da的分子量

無“僅蝕刻"循環(huán)的深度剖面。

快速、連續(xù)采集

冷樣品處理

氣敏和冷凍樣品



技術(shù)參數(shù):

離子束帶來高分子量分析和高空間分辨率

四種離子束可選擇

用氣體團簇離子束SIMS,可以分析高達3000Da的分子量

無“僅蝕刻"循環(huán)的深度剖面。

快速、連續(xù)采集

冷樣品處理

氣敏和冷凍樣品,可配置手套箱

高級數(shù)據(jù)查看功能


腔室上最多可包括3種離子束。選擇包括金,C60,氣體團簇,和等離子體-每一個適合特定的樣品類型或?qū)嶒?,如下所示?/p>

離子束

能量

束斑大小


25kV

<150nm

最高的空間分辨率,導(dǎo)致明顯的碎片。是硬質(zhì)材料的理想選擇。

60 (C60)

40kV

<300nm

在任何材料上均勻濺射,碎裂度低,理想值可達1kDa。

氣體團簇

Ar/CO2/H2O

40kV, 70kV

<1um

有機物的高濺射率,任何束流的低碎片,是生物成像的理想選擇。

雙等離子體發(fā)射源 (Ar/O2/N2/Cs)

30kV

<300nm

高亮度光源,是無機材料的理想選擇。氧束提高正離子產(chǎn)率,Cs提高負(fù)離子產(chǎn)率。



主要特點:

深度剖面

飛行時間二次離子質(zhì)譜測試設(shè)備SIMS非常適合于樣品的深度剖面分析。使用直流離子束進行分析的一個重要方面是,不需要將蝕刻離子束與分析離子束交錯。為了能夠在合理的時間尺度上生成3D圖像,并去除受損的亞表面層,傳統(tǒng)的TOF實驗使用了交錯成像和蝕刻循環(huán),這些循環(huán)浪費了寶貴的樣品。在使用C60+或(CO2n/Arn+等連續(xù)分析離子束,分析和低損傷刻蝕是連續(xù)和并行的,因此沒有數(shù)據(jù)丟失,所有材料都被采樣,使我們 SIMS成為一個非常精確的深度剖面分析工具。


溫度和大氣控制的多功能樣品處理

SIMS上的多功能樣品處理系統(tǒng)可以分析多種樣品類型。儀器配備液氮冷卻裝置,以便對揮發(fā)性樣品進行分析——冷卻裝置適用于主樣品階段和樣品插入鎖。相反,樣品臺也可以加熱到600 K。

儀器配有手套箱,用于在干燥氣體下制備和插入空氣/水敏感樣品,并防止冷卻過程中結(jié)冰。由于小容量負(fù)載鎖定和高泵送速度,樣品插入很快。


半導(dǎo)體

半導(dǎo)體分析的范圍可以從淺結(jié)深度剖面到高分辨率3D成像。有五種不同的主離子束可供選擇,可以針對不同的材料或?qū)嶒烆愋瓦M行定制。

40kV C60 光束中進行選擇,即使在混合材料上也能提供高分辨率成像和均勻的濺射率,是平面設(shè)備的理想選擇?;?span style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box; max-width: 100%;"> FLIG 5,超低能耗 O2/Cs 光束,具有高的電流密度,是淺結(jié)深度剖析的選擇。

特征:IOG C60-40, FLIG 5, 深度剖析, 3D 成像

聚合物

液態(tài)金屬離子束會導(dǎo)致高水平的碎裂和對表面的損壞,然后必須通過GCIB將其去除。這會降低深度分辨率,并增加實驗不必要的復(fù)雜性。GCIB是主光束,因此可確保低分段,不需要僅蝕刻循環(huán),并保證高深度分辨率。

GCIB SM 是市場上能量最高的 GCIB,能夠快速和最小的損壞蝕刻聚合物等軟質(zhì)材料,從而實現(xiàn)比以往更大的 3D 分析量。

特征:GCIB SM, 深度剖析, 3D 成像





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