萊寶分子泵機(jī)組?中的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵簡介：

隨著真空技術(shù)和真空應(yīng)用的發(fā)展，新的真空問題不斷涌。在這種情況下只是為客戶提供真空元部件已越來越不能滿足客戶的要求。
    萊寶公司作為一個(gè)專業(yè)的真空設(shè)備供應(yīng)商，始終把為廣大客戶提供真空解決方案視為己任。在提供具有*秀品質(zhì)的真空元部件的同時(shí)，還為客戶度身定做，提供既能滿足真空要求，又的*解決方案--真空泵組。
    RUTA 羅茨泵組的抽速由250到32000米³/小時(shí)，可以分為兩極泵組和多級(jí)泵組，極限真空度可達(dá)10^-4mbar，乃至更高。除標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外，根據(jù)不同工藝的需要，還可以為客戶專門設(shè)計(jì)定制應(yīng)用于某些特殊用途的泵組，并在系統(tǒng)中加裝各種附件，如冷凝器、粉塵過濾器、真空計(jì)、真空閥、壓力控制元件，溫度控制元件等。另外，還可以耕具工藝過程，設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)全程自動(dòng)控制的電控柜。

    萊寶分子泵機(jī)組?中的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規(guī)格，抽速自50至1100升/秒，極限真空度為＜10^-10mbar。
    其主要特點(diǎn)為：
    - 陶瓷軸承為脂潤滑，無維護(hù)運(yùn)行時(shí)間長。
    - 允許任意角度安裝。
    - 有水冷和風(fēng)冷兩種選擇。
    - 對(duì)H2的壓縮比大。
    - 無油真空泵，可用來產(chǎn)生潔凈的超高真空。

TW系列復(fù)合分子泵

抽速： 70 ～ 1600 升 / 秒
極限真空度： 10 － 9 mbar
zui大允許前級(jí)壓強(qiáng)： 6 ～ 14mbar
主要特點(diǎn)有：
- 轉(zhuǎn)子葉片為一次成型，消除了葉片應(yīng)力，使得前級(jí)耐壓高達(dá) 14mbar ，并能抵抗短暫的大氣沖擊。
-高效的風(fēng)冷系統(tǒng)，使其在絕大多數(shù)工作條件下無需冷水。
- 變頻器與泵體的一體化設(shè)計(jì)，避免了連接變頻器帶來的不便。
- 模塊化的設(shè)計(jì)為用戶提供了多種選擇。
- 結(jié)構(gòu)緊湊，可方便地安裝到復(fù)雜的系統(tǒng)中。
- 可以任意角度安裝。
- 螺旋式的拖動(dòng)級(jí)耐粉塵能力強(qiáng)。
- 軸承為油脂潤滑，無維護(hù)運(yùn)行時(shí)間長。
- 無油真空泵，可用來產(chǎn)生潔凈的高真空和超高真空。
- 可在軸承需要維護(hù)時(shí)提前預(yù)警。
- 通過通訊接口可以與掌上電腦， PC 或 PLC 聯(lián)絡(luò)，以讀取分子泵工作狀態(tài)的參數(shù)，以及儲(chǔ)存單元的運(yùn)行記錄；并可根據(jù)需要對(duì)某些參數(shù)進(jìn)行修改，如頻率等。
- 高前級(jí)耐壓降低了對(duì)前級(jí)泵的要求，使得系統(tǒng)總體造價(jià)降低。

 新一代數(shù)字化控制，五軸定位的磁懸浮分子泵

MAG 1500C/CT ， MAG2000C/CT ， MAG2200C/CT ， MAG 2800C/CT ， MAG 3200C/CT
抽速： 1500l/s ～ 3200l/s
•  五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng)，自平衡性能好全無油，耐粉塵、抗氣流沖擊。
•  轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金，一次高速銑削成形，應(yīng)力小，強(qiáng)度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎；轉(zhuǎn)子*運(yùn)行溫度可高達(dá) 120 ℃ 。
•  轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶技術(shù)的 KAPLAR 涂層
•  較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強(qiáng)的防腐蝕性能，適用于抽除腐蝕性強(qiáng)的工藝氣體；
•  降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量，降低轉(zhuǎn)子運(yùn)行溫度，有利于延長轉(zhuǎn)子壽命；
•  葉片鍍 KAPLAR 的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
•  保護(hù)軸承為陶瓷軸承，壽命長（ >600 次），無需更換保護(hù)軸承。
•  高真空端連接采用 ISO-F ，連接螺栓強(qiáng)度高，充分保障安全。
•  智能化電源，無需 UPS 。
•  帶拖動(dòng)級(jí)，前級(jí)耐壓在 2mbar 以上。
•  分子泵運(yùn)行溫度可調(diào)節(jié)，使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
•  的數(shù)字控制技術(shù)
•  運(yùn)行速度、溫度可設(shè)置；
•  運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)，提供多達(dá) 180 條運(yùn)行信息；
•  磁懸浮軸承及泵運(yùn)行溫度采用數(shù)字化控制，信號(hào)處理速度快，系統(tǒng)反應(yīng)時(shí)間短
•  轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡變化時(shí)，磁場(chǎng)補(bǔ)償反應(yīng)時(shí)間短；
•  在氣流長時(shí)間（ 2 分鐘以上）過大，而使泵負(fù)載過高，發(fā)熱量過大時(shí)，泵速會(huì)快速自動(dòng)調(diào)節(jié)，使泵溫下降到正常水平。
•  控制器與泵無識(shí)別性，可互換。
•  免維護(hù)。
典型應(yīng)用：
適用于
•  所有半導(dǎo)體主要制程：刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
•  科研領(lǐng)域
•  鍍膜
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M ， MAG400 和 MAG 1000 。

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