德國萊寶真空泵 分子泵機(jī)組生產(chǎn)廠家生產(chǎn)的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規(guī)格，抽速自50至1100升/秒，極限真空度為＜10^-10mbar。

 萊寶的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵主要特點為：
    - 陶瓷軸承為脂潤滑，無維護(hù)運(yùn)行時間長。
    - 允許任意角度安裝。
    - 有水冷和風(fēng)冷兩種選擇。
    - 對H2的壓縮比大。
    - 無油真空泵，可用來產(chǎn)生潔凈的超高真空。

德國萊寶真空泵 分子泵機(jī)組生產(chǎn)廠家
抽速： 70 ～ 1600 升 / 秒
極限真空度： 10 － 9 mbar
zui大允許前級壓強(qiáng)： 6 ～ 14mbar
主要特點有：
- 轉(zhuǎn)子葉片為一次成型，消除了葉片應(yīng)力，使得前級耐壓高達(dá) 14mbar ，并能抵抗短暫的大氣沖擊。
-高效的風(fēng)冷系統(tǒng)，使其在絕大多數(shù)工作條件下無需冷水。
- 變頻器與泵體的一體化設(shè)計，避免了連接變頻器帶來的不便。
- 模塊化的設(shè)計為用戶提供了多種選擇。
- 結(jié)構(gòu)緊湊，可方便地安裝到復(fù)雜的系統(tǒng)中。
- 可以任意角度安裝。
- 螺旋式的拖動級耐粉塵能力強(qiáng)。
- 軸承為油脂潤滑，無維護(hù)運(yùn)行時間長。
- 無油真空泵，可用來產(chǎn)生潔凈的高真空和超高真空。
- 可在軸承需要維護(hù)時提前預(yù)警。
- 通過通訊接口可以與掌上電腦， PC 或 PLC 聯(lián)絡(luò)，以讀取分子泵工作狀態(tài)的參數(shù)，以及儲存單元的運(yùn)行記錄；并可根據(jù)需要對某些參數(shù)進(jìn)行修改，如頻率等。
- 高前級耐壓降低了對前級泵的要求，使得系統(tǒng)總體造價降低。

新一代數(shù)字化控制，五軸定位的磁懸浮分子泵 　　　　　　　　　　 

MAG 1500C/CT ， MAG2000C/CT ， MAG2200C/CT ， MAG 2800C/CT ， MAG 3200C/CT
抽速： 1500l/s ～ 3200l/s
•  五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng)，自平衡性能好全無油，耐粉塵、抗氣流沖擊。
•  轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金，一次高速銑削成形，應(yīng)力小，強(qiáng)度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎；轉(zhuǎn)子*運(yùn)行溫度可高達(dá) 120 ℃ 。
•  轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶技術(shù)的 KAPLAR 涂層
•  較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強(qiáng)的防腐蝕性能，適用于抽除腐蝕性強(qiáng)的工藝氣體；
•  降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量，降低轉(zhuǎn)子運(yùn)行溫度，有利于延長轉(zhuǎn)子壽命；
•  葉片鍍 KAPLAR 的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
•  保護(hù)軸承為陶瓷軸承，壽命長（ >600 次），無需更換保護(hù)軸承。
•  高真空端連接采用 ISO-F ，連接螺栓強(qiáng)度高，充分保障安全。
•  智能化電源，無需 UPS 。
•  帶拖動級，前級耐壓在 2mbar 以上。
•  分子泵運(yùn)行溫度可調(diào)節(jié)，使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
•  的數(shù)字控制技術(shù)
•  運(yùn)行速度、溫度可設(shè)置；
•  運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄存儲，提供多達(dá) 180 條運(yùn)行信息；
•  磁懸浮軸承及泵運(yùn)行溫度采用數(shù)字化控制，信號處理速度快，系統(tǒng)反應(yīng)時間短
•  轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動平衡變化時，磁場補(bǔ)償反應(yīng)時間短；
•  在氣流長時間（ 2 分鐘以上）過大，而使泵負(fù)載過高，發(fā)熱量過大時，泵速會快速自動調(diào)節(jié)，使泵溫下降到正常水平。
•  控制器與泵無識別性，可互換。
•  免維護(hù)。
典型應(yīng)用：
適用于
•  所有半導(dǎo)體主要制程：刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
•  科研領(lǐng)域
•  鍍膜
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M ， MAG400 和 MAG 1000 。

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