目錄:杭州浩邦生物科技有限公司>>CIF華儀行>>等離子體表面處理儀>> CPC-F系列實驗室型等離子清洗機
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,綜合 |
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CIF 推出的新一代科研型等離子清洗設(shè)備，合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計，優(yōu)化的腔體尺寸，使得處理樣品更大，適用范圍更廣。 產(chǎn)品性能穩(wěn)定，操作簡單方便，易維護。
應(yīng)用領(lǐng)域：
等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學、微電子、半導(dǎo)體、線 路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫(yī)學等領(lǐng)域，主要用 于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。
產(chǎn)品特點：
◆ 7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。
◆ PLC 控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。
◆ 用美國德威爾（Dwyer）氣體浮子流量計或質(zhì)量流量計 (CPC-FM)，可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體，氣體控制準確。
◆ 氣體返填吹掃，HEPA 高效過濾，防止二次污染。
◆ 316 不銹鋼、石英真空艙可選擇，全真空管路系統(tǒng)采用316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。
◆ 采用 60 度傾角操作面板設(shè)計，符合人體功能學，操作方 便，界面友好。
◆ 上控制下艙體結(jié)構(gòu)設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間小。
◆ 內(nèi)凹式前面板設(shè)計，有效保護流量計和艙門不易損壞。
◆ 處理快速高效均勻，無污染，工藝重復(fù)性好。
◆ 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。
◆ 安全保護，艙門打開，自動關(guān)閉電源。
技術(shù)參數(shù)
型號 | CPC-F | CPC-Fplus | CPC-FM | CPC-FMplus |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
射頻功率 | 0-600W | 0-150W | 0-600W | 0-150W |
匹配器 | 自動匹配器 | 自動匹配器 | ||
激發(fā)方式 | 電容式或電感耦合（ICP） | 電容式或電感耦合（ICP） | ||
氣體控制 | 雙浮子流量計 | 單路 MFC（可選兩路） | ||
艙體尺寸 | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm | ||
艙體材質(zhì) | 不銹鋼或石英玻璃 | 不銹鋼或石英玻璃 | ||
艙體容積 | 3.8L-5L | 3.8L-5L | ||
有效處理尺寸 | L200xW155mm | L200xW155mm | ||
時間設(shè)定 | 9999 秒 | 9999 秒 | ||
真空泵 | 抽速 4m3/h | 抽速 4m3/h | ||
氣體穩(wěn)定時間 | 1 分鐘 | 1 分鐘 | ||
真空度 | 100pa 以內(nèi) | 100pa 以內(nèi) | ||
電 源 | AC220V 50/60Hz 766/316W | AC220V 50/60Hz 752/302W | ||
產(chǎn)品尺寸 | L440xW410xH455mm | L440xW410xH455mm | ||
包裝尺寸 | L560xW560xH685mm | L560xW560xH685mm | ||
整機重量 | 32kg | 32kg | ||
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