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目錄:杭州浩邦生物科技有限公司>>CIF華儀行>>等離子體表面處理儀>> CPC-G系列實驗室型等離子清洗機高精度

實驗室型等離子清洗機高精度
  • 實驗室型等離子清洗機高精度
  • 實驗室型等離子清洗機高精度
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 CPC-G系列
  • 廠商性質 代理商
  • 所在地 杭州市
屬性

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更新時間:2024-09-23 16:34:19瀏覽次數:1137評價

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產地類別 國產 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產業(yè),制藥/生物制藥,綜合
CIF推出全新一代 CPC-G系列實驗室型等離子體清洗設備, 傳統(tǒng)等離子體清洗設備設計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價比高, 處理快速高效, 特別適合于大學, 科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產。

CIF推出全新一代 CPC-G系列實驗室型等離子體清洗設備, 傳統(tǒng)等離子體清洗設備設計理念。具有較大的腔體尺寸和有效樣 品處理面積, 使用成本低, 性價比高, 處理快速高效, 特別適合于大學, 科研院所和光電企業(yè)實驗室小批量中試生產。


產品特點:

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監(jiān)測工藝參數狀態(tài),20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。

◆  PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

◆  石英真空艙,真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

◆  采用質量流量計,實現對氣體輸入精準控制,改變傳統(tǒng)浮子流量計控制氣體流量不準確問題。

◆  HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

◆  60 度傾角操作界面設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。

◆  頂置真空艙,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式,開關蓋方便。

◆  采用花灑式多孔進氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

◆  上置式 360 度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

◆  有效清洗面積大,可清洗最大直徑 8 吋硅片。

◆  安全保護,艙門打開,自動關閉電源。


技術參數:

型號

CPC-G

CPC-Gplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

射頻功率

0-600W

0-150W

匹配器

自動匹配

激發(fā)方式

電容式

氣體控制

單路 MFC(可選兩路)

艙體尺寸

H100xΦ269mm

艙體容積

5.6L

艙體材質

石英玻璃

有效處理尺寸

Φ269mm 圓盤

時間設定

9999 秒

真空泵

抽速 4m3/h

氣體穩(wěn)定時間

1 分鐘

真空度

100pa 以內

 

AC220V 50/60Hz  752/302W

產品尺寸

L425xW480xH445mm

包裝尺寸

L550xW630xH700mm

整機重量

30kg



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