Bruker  探針式表面輪廓儀（臺階儀）DektakXT

(一)、概述

布魯克DektakXT （探針式表面輪廓儀）設(shè)計(jì)創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)了更高的重復(fù)性和分辨率，垂直高度重復(fù)性<5Å。這一里程碑式的產(chǎn)品源自于Dektak系列占據(jù)業(yè)界ling xian地位長達(dá)四十年的優(yōu)異表面測量技術(shù)。實(shí)現(xiàn)了納米尺度的表面輪廓測量，在微電子、半導(dǎo)體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫(yī)療、科學(xué)研究和材料科學(xué)領(lǐng)域大顯身手。
臺階高度重復(fù)性優(yōu)于5埃（<5 Å）

• 單拱龍門式設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了突破性的掃描穩(wěn)定性
• 良好的”智能化電子器件”實(shí)現(xiàn)了低噪聲的新標(biāo)桿

操作簡便，高效易用

• 直觀化的Vision64TM軟件簡化了用戶界面的操作過程
• *的傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺上即可實(shí)現(xiàn)超微力和較大的力測量
• 自對準(zhǔn)的探針設(shè)計(jì)使用戶可以輕而易舉地更換探針

探針式輪廓儀的全球ling 導(dǎo) zhe

• 性能zhuo yue，物超所值
• 完備的零配件為您優(yōu)化或延伸機(jī)臺的多種應(yīng)用提供保障

(二)、歷史：技術(shù)創(chuàng)新四十余年

過去四十年間，世界范圍內(nèi)有上萬臺Dektak系列產(chǎn)品應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，廣泛用于膜厚、應(yīng)力、表面粗糙度和面形的測量。它們以優(yōu)質(zhì)、可靠、高效等特性廣受贊譽(yù)。

(三)、性能：設(shè)計(jì)完美、性能卓著

臺階儀性能優(yōu)劣取決于以下三個(gè)方面：測試重復(fù)性、測試速度以及操作難易程度。這些因素決定了實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的質(zhì)量和實(shí)驗(yàn)操作的效率。DektakXT采用全新的儀器系統(tǒng)構(gòu)造和  優(yōu)化的測量以及數(shù)據(jù)處理軟件來實(shí)現(xiàn)可靠、快速和簡單的樣品檢測，達(dá)到  佳的儀器使用效果。

優(yōu)異的測試重復(fù)性

• DektakXT™探針輪廓儀ling xian的設(shè)計(jì)保證了其優(yōu)異的性能，測量重復(fù)性達(dá)到5埃以下。
• 使用單拱龍門式設(shè)計(jì)比之前的懸臂梁設(shè)計(jì)更堅(jiān)固持久不易損壞，大大降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪聲對測試信號的影響。
• 布魯克完善了儀器的智能化電子器件，提高了工作性能的穩(wěn)定性，降低了溫度變化對器件的影響；系統(tǒng)和環(huán)境噪音引起的測量誤差降低到  小。

單拱門設(shè)計(jì)和智能化器件聯(lián)用， *的傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺

降低基座噪音，提高測試性能 可以實(shí)現(xiàn)超微力和正常測試

快捷的測試&數(shù)據(jù)分析速度

• 初次采用*高速的直接驅(qū)動(dòng)掃描樣品臺，在不犧牲分辨率和基底噪聲水平的前提下，大大縮短了每次掃描的間隔時(shí)間。從而在保證掃描質(zhì)量和重復(fù)性的前提下，將數(shù)據(jù)采集處理速度提高了40%。
• 采用具有64位數(shù)據(jù)并行處理的軟件Vision64，提高了大范圍3D形貌圖的處理速度。
• Vision64具備有效直觀的用戶界面，簡化了實(shí)驗(yàn)操作設(shè)置，可以自動(dòng)完成多掃描模式，使枯燥、繁雜的實(shí)驗(yàn)工作變得快速簡潔。

采用64位數(shù)據(jù)采集及同步分析軟件Vision64      
具備迅速便捷的換針方案，提高數(shù)據(jù)采集和分析速度 提供各種規(guī)格針尖

簡便易行的操作系統(tǒng)

• 新穎的探針和部件自動(dòng)對準(zhǔn)裝置，避免了探針損傷。提高操作的簡便性。
• 提供各種標(biāo)準(zhǔn)探針和特制探針。

完善的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

• Vision64 軟件提供了實(shí)用簡潔的用戶界面，可視化使用流程，及各種參數(shù)自助設(shè)定等。
• 各種數(shù)據(jù)分析功能的操作簡便、快捷，使用者可以快速高效地進(jìn)行分析。

具備良好的3D形貌圖像掃描和分析模式

 (四)、應(yīng)用

布魯克探針式表面輪廓儀歷經(jīng)四十載，從傳統(tǒng)的二維表面粗糙度和臺階高度測量，到更高級的三維表面成像和薄膜應(yīng)力測試，Dektak臺階儀適用面極廣，為用戶提供準(zhǔn)確性高，重復(fù)性佳的測量結(jié)果。在教育、科研領(lǐng)域和半導(dǎo)體制程控制領(lǐng)域，Dektak廣泛用于膜厚、應(yīng)力、表面粗糙度和面形的測量。

薄膜監(jiān)控

• 通過及時(shí)監(jiān)測薄膜厚度和刻蝕速率的均勻性以及薄膜應(yīng)力，實(shí)現(xiàn)有效工藝控制，可以提高生產(chǎn)良率，為客戶節(jié)省時(shí)間和費(fèi)用。
• DektakXT易于設(shè)定、測量快捷，通過不同位置的多點(diǎn)自動(dòng)測量可以跟蹤晶片的薄膜厚度，測量精度可達(dá)納米級別。
• DektakXT zhuo yue的測試性能，為工程師提供了準(zhǔn)確的薄膜厚度和應(yīng)力測量，使其可以用來jing zhun調(diào)節(jié)刻蝕和鍍膜工藝，提高產(chǎn)品的良率。

  混合電路的DektakXT 3D圖像     可以可靠測量厚度小于10nm的薄膜

表面粗糙度測量

• DektakXT可以快速測量材料的表面粗糙度，可以獲得材料的質(zhì)量信息：比如晶體生產(chǎn)是否滿足要求，或手術(shù)植入體是否可以通過醫(yī)學(xué)審核允許使用。使用軟件中的數(shù)據(jù)庫功能，設(shè)定 合格/淘汰條件，質(zhì)量人員可以輕松確定

微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）

• 市場上wei yi可以測量敏感材料1mm高垂直臺階的臺階儀，且測試重復(fù)性在埃米級別；
• 為微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）研究提供了可靠的關(guān)鍵尺寸測量手段，確保器件滿足要求；
• 具有超微力（NLite+）測量功能，可以保證在測量敏感材料時(shí)，輕觸材料表面而不破壞樣品表面，得到臺階高度以及表面粗糙度數(shù)據(jù)。

太陽能電池柵線分析

• 在太陽能領(lǐng)域，DektakXT作為測量單晶硅、對晶硅電池上主柵、銀線特征尺寸的shou xuan設(shè)備。
• jing zhun測量柵線的高度、寬度。節(jié)約了貴金屬銀的使用量，同時(shí)保證了電池板的  佳導(dǎo)電性。Version64的數(shù)據(jù)分析方法和自動(dòng)操作能力使這一檢驗(yàn)核實(shí)的過程通過特定設(shè)置后自動(dòng)完成。

(五)、技術(shù)規(guī)格