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北京亞科晨旭科技有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第7年

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當(dāng)前位置:北京亞科晨旭科技有限公司>>材料刻蝕>> SI 591RIE反應(yīng)離子刻蝕

RIE反應(yīng)離子刻蝕

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)SI 591

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

更新時(shí)間:2024-09-25 12:22:12瀏覽次數(shù):1841次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 150萬-200萬
應(yīng)用領(lǐng)域 電子
RIE反應(yīng)離子刻蝕采用模塊化設(shè)計(jì),可滿足III/V半導(dǎo)體和Si加工工藝領(lǐng)域的的靈活應(yīng)用。 SENTECH SI 591可應(yīng)用于各種領(lǐng)域的蝕刻工藝中,能夠完成多種刻蝕加工。

RIE反應(yīng)離子刻蝕采用模塊化設(shè)計(jì),可滿足III/V半導(dǎo)體和Si加工工藝領(lǐng)域的的靈活應(yīng)用。 SENTECH SI 591可應(yīng)用于各種領(lǐng)域的蝕刻工藝中,能夠完成多種刻蝕加工。


RIE反應(yīng)離子刻蝕主要特點(diǎn):

高均勻性和優(yōu)重復(fù)性的蝕刻工藝

預(yù)真空鎖loadlock

電腦控制操作

SENTECH高級(jí)等離子設(shè)備操作軟件

數(shù)據(jù)資料記錄

穿墻式安裝方式

刻蝕終點(diǎn)探測(cè)

工藝靈活性


RIE蝕刻機(jī)SI 591 特別適用于氯基和氟基等離子蝕刻工藝,占地面積小且模塊化程度高,SI 591 可配置為單個(gè)反應(yīng)腔或作為片盒到片盒裝載的多腔設(shè)備。SENTECH控制軟件,我們的等離子蝕刻設(shè)備包括用功能強(qiáng)大的用戶友好軟件與模擬圖形用戶界面,參數(shù)窗口,工藝窗口,數(shù)據(jù)記錄和用戶管理。


預(yù)真空室和計(jì)算機(jī)控制的等離子體刻蝕工藝條件,使得SI 591 具有優(yōu)異的工藝再現(xiàn)性和等離子體蝕刻工藝靈活性。靈活性、模塊性和占地面積小是SI 591的設(shè)計(jì)特點(diǎn)。樣品直徑大可達(dá)200mm,通過載片器加載。SI 591可以配置為穿墻式操作或具有更多選項(xiàng)的小占地面積操作。位于頂部電極和反應(yīng)腔體的更大診斷窗口可以輕易地容納SENTECH激光干涉儀或OES和RGA系統(tǒng)。橢偏儀端口可用于SENTECH橢偏儀進(jìn)行原位監(jiān)測(cè)。


SI 591結(jié)合了計(jì)算機(jī)控制的RIE平行板電極設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)和預(yù)真空室系統(tǒng)。SI 591可配置用于各種材料的刻蝕。在SENTECH,我們提供不同級(jí)別的自動(dòng)化程度,從真空片盒載片到一個(gè)工藝腔室或多六個(gè)工藝模塊端口,可用于不同的蝕刻和沉積工藝模塊組成多腔系統(tǒng),目標(biāo)是高靈活性或高產(chǎn)量。SI 591也可用作多腔系統(tǒng)中的一個(gè)工藝模塊。


SI 591 compact

  • 占地面積小的RIE等離子刻蝕

  • 預(yù)真空室

  • 鹵素和氟基氣體

  • 適用于200mm的晶片

  • 用于激光干涉儀和OES的診斷窗口


SI 591 cluster

  • 可配置為至多6端口傳輸

  • 結(jié)合RIE, ICP-RIE和PECVD腔體

  • 手動(dòng)預(yù)真空室置片或片盒裝載

  • 用于研發(fā)和高產(chǎn)量的多腔系統(tǒng)

  • SENTECH控制軟件



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