儀器簡介：

掃描探針顯微系統(tǒng)Dimension Icon的性能、功能及附件等方面具有全新表現(xiàn)，在聚合物、半導(dǎo)體、能源、數(shù)據(jù)存儲及材料領(lǐng)域的納米研究中將會得到廣泛應(yīng)用。Dimension Icon是Dimension系列產(chǎn)品中的最新款設(shè)備,它基于世界上應(yīng)用廣泛的AFM平臺，集合了數(shù)十年的技術(shù)創(chuàng)新、行業(yè)內(nèi)的應(yīng)用定制及客戶反饋等于一身。這個(gè)系統(tǒng)經(jīng)過從上到下的設(shè)計(jì)，在易用性、高分辨率及快速成像等方面有突出表現(xiàn)。

技術(shù)參數(shù)：

X-Y方向掃描范圍：90um *90um典型值，最小85um
Z方向掃描范圍：10um典型值，在成像及力曲線模式下；最小9.5um
垂直方向噪音基底：<30pmRMS, 在合適的環(huán)境及典型的成像帶寬（達(dá)到625Hz）
X-Y定位噪音（閉環(huán)）：<0.15nm RMS，典型成像帶寬（達(dá)到625Hz）
X-Y定位噪音（閉環(huán)）：<0.10nm RMS，典型成像帶寬（達(dá)到625Hz）
Z傳感器噪音水平（閉環(huán)）：<35pm RMS, 典型成像帶寬（達(dá)到625Hz）
整體線性誤差（X-Y-Z）：0.5% 典型值

樣品尺寸/夾具：210mm真空吸盤樣品臺，直徑210mm, 厚度15mm
電動(dòng)定位樣品臺（X-Y軸）：180mm*180mm可視區(qū)域；單向2um重復(fù)性；雙向3um重復(fù)性。
顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)：五百萬像素?cái)?shù)字照相機(jī)
                         180um至1465um可視范圍
                          數(shù)字縮放及自動(dòng)對焦功能

控制器：NanoScope V型控制器
工作臺：整合所有控制器、結(jié)合人體工學(xué)設(shè)計(jì)，提供直接的物理或可視借口
震動(dòng)隔絕：整體式氣動(dòng)減震臺
聲音隔絕：可隔絕環(huán)境中85 dBC的持續(xù)噪音

主要特點(diǎn)：

掃描探針顯微系統(tǒng)Dimension Icon結(jié)合Veeco最新的針尖-掃描AFM技術(shù)，Icon的溫度補(bǔ)償定位傳感器使Z軸的的噪音水平達(dá)到亞-埃米級，X-Y方向達(dá)埃米級。在大樣品臺、90微米掃描范圍系統(tǒng)的儀器當(dāng)中，這種表現(xiàn)是非常突出的，優(yōu)于絕大部分的開環(huán)、高分辨率AFM系統(tǒng)的噪音水平。

Icon不僅具有非常好的分辨率，它還具備許多新的特性，以增加新老AFM用戶操作儀器的便捷性及出圖像速率：
• 設(shè)計(jì)的掃描管，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)掃描功能同時(shí)，具有開環(huán)掃描管的噪音水平，在大樣品AFM系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)的分辨率；
• 全新設(shè)計(jì)的XYZ閉環(huán)掃描管，在不影響圖像質(zhì)量下具有非常高的掃描速度，具有非?？斓臄?shù)據(jù)采集能力；
• 最新的NanoScope軟件版本，提供直觀的操作流程及默認(rèn)實(shí)驗(yàn)?zāi)K，將復(fù)雜的AFM操作流程轉(zhuǎn)化為預(yù)先設(shè)置；
• 高分辨率的照相機(jī)及X-Y定位，實(shí)現(xiàn)更迅速、更有效的樣品定位；
• 開放的針尖及樣品環(huán)境，適用于絕大部分的標(biāo)準(zhǔn)或定制實(shí)驗(yàn)；
• 硬件及軟件設(shè)置適用Veeco現(xiàn)有的及即將推出的所有模式及技術(shù)，包括現(xiàn)有的*進(jìn)的HarmoniX納米材料性能成像模式。