Sievers* 500 RLe 在線TOC 分析儀的特點(diǎn)介紹,參數(shù)和應(yīng)用。
Sievers* 500 RLe 在線TOC分析儀是半導(dǎo)體工業(yè)的在線、無試劑的TOC分析儀，能夠準(zhǔn)確測(cè)定引起問題的化合物，例如尿素、*基胺（TMA）、有機(jī)酸與有機(jī)堿。
在線總有機(jī)碳（TOC，Total Organic Carbon）分析儀應(yīng)盡可能簡(jiǎn)單，但是不能簡(jiǎn)單到，將制造操作暴露在不可預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)中，并且存在檢測(cè)不到的有機(jī)中間產(chǎn)物。近，某家領(lǐng)導(dǎo)性的半導(dǎo)體液浸式光刻工具生產(chǎn)商已經(jīng)要求，其光刻工具給水的所有TOC檢測(cè)要包含準(zhǔn)確的超純水（UPW）中的有機(jī)氮化合物的檢測(cè)。一些品牌的TOC分析儀不能檢測(cè)到超純水中普遍存在的有機(jī)氮化合物，比如尿素，或*基胺TMA1,2。500RLe能夠準(zhǔn)確、重復(fù)性很好測(cè)定這些化合物，滿足此項(xiàng)新的TOC性能要求。
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