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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領域 | 電子/電池,綜合 |
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蔡司雙束電鏡 Crossbeam 550 Samplefab
[產(chǎn)品簡介]
蔡司雙束電鏡 Crossbeam 550 Samplefab,作為一款專為半導體行業(yè)TEM樣品制備開發(fā)的聚焦離子束掃描電子顯微鏡(FIB-SEM),提供優(yōu)異的靈活性、自動化功能和用戶友好設計,幫助半導體行業(yè)的樣品制備更加簡便高效。
[產(chǎn)品特點]
l 行業(yè)標準軟件界面
l 優(yōu)化配置提升設備和軟件穩(wěn)定性
l 全自動TEM樣品制備體驗
l 原位(in-situ, lift-out)與非原位(ex-situ, pick-up)靈活可用
l 高質量的自動與手動制樣
[應用領域]
電子和半導體行業(yè),失效分析及TEM樣品制備。
【應用案例】
分別使用全自動非原位(ex-situ, pick-up)與原位(in-situ, lift-out)制樣的 TEM 薄片樣品
手動最終減薄的 7nm 工藝處理器,平面 TEM 薄片
使用 Crossbeam 內 STEM 探測器拍攝