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更新時(shí)間:2025-02-18 14:59:36瀏覽次數(shù):2279評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,司法,制藥 |
澤攸科技臺(tái)階儀JS10B
產(chǎn)品介紹
澤攸科技手動(dòng)臺(tái)階儀JS10B是一款高精度測(cè)量設(shè)備,采用一體式花崗巖結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),確保了測(cè)量的穩(wěn)定性和可靠性。其配備彩色攝像頭,能清晰地觀察樣品和針尖,方便定位并實(shí)時(shí)監(jiān)控掃描區(qū)域。JS10B的最大掃描長度為55mm,重復(fù)性測(cè)量偏差不超過0.5nm,適用于晶圓尺寸≤150mm的樣品。此外,它還具備臺(tái)階、粗糙度、平整度和翹曲度等多種測(cè)量功能,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子等領(lǐng)域。
應(yīng)用領(lǐng)域
產(chǎn)品組成
突破三大核心技術(shù)
產(chǎn)品特色
JS10B臺(tái)階儀部分技術(shù)指標(biāo)
名稱 | 詳細(xì)參數(shù) |
樣品尺寸 | ≤150mm |
最大掃描長度 | 55mm |
重復(fù)性測(cè)量偏差 | ≤0.5nm(1μm標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次) |
探針加力范圍 | 0.5-50mg |
垂直分辨率 | 0.05nm滿量程 |
掃描分辨率 | 10nm |
掃描速度 | 5μm/s-100μm/s |
掃描最大采集點(diǎn)數(shù) | 200萬點(diǎn) |
軟件功能 | 臺(tái)階、粗糙度、平整度和翹曲度測(cè)量 |
案例應(yīng)用
18nm樣品
68um樣品
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)