目錄:深圳市錫成科學儀器有限公司>>輪廓/膜厚測量>>光學輪廓儀>> D500 /D600探針式輪廓儀（臺階儀）
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 20萬-35萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
探針式輪廓儀（臺階儀）Alpha-Step D500 /D600采用新型光學反射探測系統(tǒng)測量高度，同時應(yīng)用電磁力控制探針壓力，能有效實現(xiàn)超微力和低慣量。探針的接觸式測量技術(shù)的優(yōu)點是直接測量，與材料特性無關(guān)。多種力度調(diào)節(jié)和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結(jié)構(gòu)和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結(jié)構(gòu)改變引起的粗糙度和應(yīng)力變化。
探針式輪廓儀（臺階儀）應(yīng)用范圍:
1.2D/3D 表面形貌掃描
2.納米至1200μm臺階高度測量
3.粗糙度和波紋度測量
4.樣品翹曲和曲率半徑測量
5.2D薄膜應(yīng)力測量
探針式臺階儀\探針式輪廓儀技術(shù)特點:
1.優(yōu)秀的重復(fù)性和再現(xiàn)性
2.接觸式測量，適用于多種材料
3.測量軟材料的微力控制
4.梯形失真校正可消除側(cè)視視圖造成的失真
5.弧形校正補償探針的弧形運動
| 型號 | D500 | D600 | |
| 臺階高度 | 5nm~1200μm | ||
| 分辨率 | 0.38Å | ||
| 重復(fù)性 | 5Å（1μm臺階） | ||
| 載力范圍 | 0.03mg~15mg | ||
| 視頻 | 5MP高分辨彩色相機 | ||
| 樣品臺 | 140mm手動XY軸，Z軸自動 | 200m三軸自動 | |
| 單次掃描 | 30mm | 55mm | |
| 圖像拼接 | 80mm | 200mm | |
| 梯形失真校正 | 消除側(cè)視視圖造成的失真 | ||
| 弧形校正 | 消除探針的弧形運動引起的誤差 | ||
| 掃描模式 | 2D | 2D/3D | |
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